[實用新型]精度容量排放控制化學容器

有效

• 申請號: 201220115296.8
• 申請日: 2012-03-23
• 公開（公告）號: CN202521225U
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發明（設計）人: 簡建至;江獻茂;黃自柯
• 申請（專利權）人: 冠禮控制科技（上海）有限公司
• 主分類號: F17D1/08
• 分類號: F17D1/08;F17D3/01
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 楊軍

[技術領域]

本實用新型涉及化學品精度控制技術領域，具體地說是一種精度容量排放控制化學容器。

[背景技術]

在半導體和醫藥行業中，對于藥液和化學品的精度控制是必須的。目前，常用的手段是通過計量泵或定量容器對其進行控制，根據使用情況來看，存在以下不足之處：計量泵的費用比較高，增加了使用成本；而定量容器雖然費用適當，但由于受液位傳感器本身的限制，定量容器的控制精度卻比較低，且使用的局限性大，從而無法保證所需化學用品的精度要求，給人們的使用帶來了不便。

[實用新型內容]

本實用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種結構簡單、操作方便，且控制精度高的精度容量排放控制化學容器。

為實現上述目的設計一種精度容量排放控制化學容器，包括容器本體6和化學容器8，所述容器本體6通過管道連接化學容器8，所述管道中設有控制閥7，所述容器本體6上方設有調節裝置1和容積調節本體2，所述容積調節本體2安裝在調節裝置1的下方，所述容器本體6的側面設有溢流管道3。

所述溢流管道3中設有液位傳感器4和排液控制閥5。

所述調節裝置1為手動或自動調節裝置。

本實用新型同現有技術相比，結構新穎、簡單，由于在容器本體上方設有調節裝置和容積調節本體，從而通過溢流的方式控制化學品的精度，不僅控制精度高，而且針對現有的液位傳感系統來說，其自動化程度更高，用戶可根據需要自由調整調節裝置，溢出排放，且化學品排放為自動；此外，在溢流管道中設有液位傳感器，則保證了溢流管道中的溢出液體不會回流至容器本體內，操作方便、可靠，值得推廣應用。

[附圖說明]

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是現有技術的結構示意圖；

圖3是本實用新型中容器本體溢流過程示意圖；

圖中：1、調節裝置2、容積調節本體3、溢流管道4、液位傳感器5、排液控制閥6、容器本體7、控制閥8、化學容器。

[具體實施方式]

下面結合附圖對本實用新型作以下進一步說明：

如附圖所示，本實用新型包括：容器本體6和化學容器8，所述容器本體6通過管道連接化學容器8，所述管道中設有控制閥7，所述容器本體6上方設有調節裝置1和容積調節本體2，所述容積調節本體2安裝在調節裝置1的下方，所述容器本體6的側面設有溢流管道3，所述溢流管道3中設有液位傳感器4和排液控制閥5。

本實用新型中，所述調節裝置1為手動或自動調節裝置，若采用手動調節裝置，則可為螺紋結構；若采用自動調節裝置，可使用伺服電機帶動的結構，其基本原理都是通過調節裝置帶動容積調節本體的升降，其實施非常靈活、方便；溢流管道中設有的液位傳感器，則保證了溢流管道中的溢出液體不會回流至容器本體內，其中排放控制閥用于控制多余化學液的流出，控制閥用于控制所需要使用的化學液用量。

本實用新型優化了原有的可調容積容器的控制精度，其基本原理是通過溢出的方式，使化學品的容積達到需要的范圍。具體為，通過螺紋結構或伺服電機結構的調節裝置使得容積調節本體浸入容器本體中的化學液中，并將多余的化學液從容器本體側面的溢出管道中流出，待容器本體內的液面穩定后，將調節后的化學液排入化學容器中，最后進行使用。

本實用新型并不受上述實施方式的限制，其他的任何未背離本實用新型的精神實質與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內。