[實用新型]雙遠心干涉儀連續變焦成像裝置

有效

• 申請號: 201220114584.1
• 申請日: 2012-03-23
• 公開（公告）號: CN202614180U
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 孟憲虹;薛新國;鍾錦銘
• 申請（專利權）人: 新朔光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

技術領域

本實用新型涉及一種雙遠心干涉儀連續變焦成像裝置，特別涉及一種模塊化設計的機體以提高維修組裝、客制化的便利性，以及使用雙段遠心成像方式來改善光學畸變的問題，以及提高較長的物距測量功效。

背景技術

隨著精密測量的發展，利用光學測量微小、精密元件的技術，同時具備高敏感性與非破壞性的優點，因此已廣泛應用于不同工程應用領域。以干涉儀為例說明，其是一種利用光的干涉現象作為測量光學元件或其他物理量的光機設備，目前光機設備的設計與組裝相當的復雜，且預先調校好的光路容易受外在影響而產生偏移狀況，使得事后維修的困難度極高。舉例來說，光機設備是使用多個零件搭接組合而成主體架構，且大多光學元件都設置于主體架構內部；其中主體架構內在組裝此些光學元件的同時，就必須預先調校好及定位，以確保光路行進路線的準確度。

然而，在搬運過程中，光機設備會因主體架構本身的搭接設計而產生剛性不足的問題，且容易造成光路偏移發生的機率。另外，主體架構受外部撞擊時，容易產生震動干擾，如此也會產生光路偏移的問題。再者，此些光學元件并未模塊化，而是零散的一一組裝于主體架構內，當發生故障時，必須整臺拆卸檢查、維修或替換，不僅耗時費力、維修成本昂貴，且維修效率相當低。除此之外，光機設備的CCD及其外掛鏡頭的重量、體積龐大，于調焦時，必須調整CCD來配合成像面，但卻容易造成整體主體架構重心偏移及震動，使得調整CCD及鏡頭的手續變的相當復雜。

不僅存在上述光機設備的詬病之外，干涉條紋品質的優劣是取決于成像系統，當待測物距離改變時，成像系統的放大倍率、畸變與解析度會有所改變，如此即限制了測量上的條件。

有鑒于此，本實用新型遂針對上述現有技術的缺失，提出一種雙遠心干涉儀連續變焦成像裝置，以有效克服上述的所述的這些問題。

發明內容

本實用新型的主要目的在提供一種雙遠心干涉儀連續變焦成像裝置，其可將模塊化的各光學模塊分別組裝于一體成型的機體上，不僅提高了整體剛性、組裝維修便利性，又能降低光路偏移發生的機會。

本實用新型的次要目的在提供一種雙遠心干涉儀連續變焦成像裝置，其利用雙段遠心鏡頭成像方式，有較大的景深，有利于非平面物件的測量，同時維持干涉條紋影像大小能不受物距影響，進而得到高品質的功效。

本實用新型的另一目的在提供一種雙遠心干涉儀連續變焦成像裝置，其可單獨作為定倍率系統使用，也可作為雙段遠心光學成像系統使用，能有效增加操作便利性及使用彈性。

本實用新型的再一目的在提供一種雙遠心干涉儀連續變焦成像裝置，其利用軟性懸吊組件來降低各光學模塊受外部撞擊或搬運過程中所造成的影響，同時降低震動干擾的問題。

本實用新型的又一目的在提供一種雙遠心干涉儀連續變焦成像裝置，其利用多重隔離設計，可有效將灰塵阻隔在外而影響光學模塊，且每一光學模塊都可單獨維修、組裝、拆卸及替換，使整體結構更佳彈性化。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

一種雙遠心干涉儀連續變焦成像裝置，其特征在于，包括：

一圓管主體；

一準直物鏡組，裝設于該圓管主體上，將干涉圖形的平行光轉換為收斂光，并將其引導至一成像通道上；

一遠心成像模塊，裝設于該圓管主體上，且位于該準直物鏡組前側，該遠心成像模塊將該成像通道上的該干涉圖形轉換為一遠心成像；

一遠心連續變焦模塊，裝設于該圓管主體上，位于該準直物鏡組與該遠心成像模塊之間，該遠心連續變焦模塊調整該遠心成像的放大倍率，并輸出一物影像；及

一電耦合元件，裝設于該圓管主體上，且位于該遠心連續變焦模塊的側邊，該物影像成像于該電耦合元件上，并被轉換成電子信號。

該圓管主體是鋁合金圓管。

還包括一殼體，該圓管主體設于該殼體內，且該殼體包含復數個隔離艙，該復數個隔離艙分別對應容設該準直物鏡組、該遠心成像模塊、該遠心連續變焦模塊及該電耦合元件，并使該準直物鏡組、該遠心成像模塊、該遠心連續變焦模塊及該電耦合元件分別形成獨立空間。

該殼體內還設有一軟性懸吊組件，該圓管主體的兩端抵觸固定于該軟性懸吊組件上。

該準直物鏡組包括兩個平面、一準直裝置及一偏振分光棱鏡組，該偏振分光棱鏡組位于該兩個平面及該準直裝置的下方，該兩個平面將反射光互相干涉以產生一待測物的該干涉圖形，由該準直裝置將該干涉圖形的平行光轉換為收斂光，再由該偏振分光棱鏡組引導該干涉圖形至該成像通道上。