[實用新型]太陽能硅電池濕法刻蝕機氣簾保護裝置

有效

• 申請號: 201220111852.4
• 申請日: 2012-03-21
• 公開（公告）號: CN202601573U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 張強;施利君
• 申請（專利權）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L21/306
• 分類號: H01L21/306;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種用于太陽能硅電池濕法刻蝕機的氣簾保護裝置，該裝置主要應用于防止刻蝕段酸氣外泄，解決了該設備堿洗段易受污染，藥水壽命低等現象。?

背景技術

目前國內國產的太陽能硅電池濕法刻蝕設備中，由于刻蝕段的特殊工藝要求，刻蝕段的抽風量較低，導致刻蝕段一部分酸氣外泄，當這部分酸氣擴散至相鄰的堿洗段時，酸氣溶解于堿洗槽位，嚴重污染了堿洗槽體，大大縮減了藥水的使用壽命，增加了客戶的機器運行成本。?

實用新型內容

由于刻蝕段的抽風量不允許調大，為了保證刻蝕段的酸氣不會大量擴散，本實用新型提供了一種太陽能硅電池濕法刻蝕機氣簾保護裝置，通過這套氣簾，解決了傳統的濕法刻蝕機刻蝕段藥氣擴散的現象，極大的提高了藥水使用壽命，降低了設備運營成本。?

本實用新型的上述目的通過以下的技術方案來實現：一種太陽能硅電池濕法刻蝕機氣簾保護裝置，包括槽體和蓋板，其特征在于：在槽體的刻蝕段后方設置過渡區，在過渡區的后方設置一抽風管；在抽風管的后方加裝一把氣刀，利用氣刀的風力在其覆蓋區域內形成一道氣墻，阻擋刻蝕段的酸氣擴散；利用抽風管路系統將氣刀內噴出的氣體吸收，令抽風管與氣刀組成一個穩定的系統。?

本實用新型的有益效果是，利用氣簾裝置及其配套的元件所組成的系統，有效的防止了刻蝕段的酸氣擴散。?

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。?

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型進一步詳述：?

如圖1所示，一種太陽能硅電池濕法刻蝕機氣簾保護裝置，包括槽體1和蓋板2，其特征在于：在槽體1的刻蝕段3后方設置過渡區4，在過渡區4的后方設置一抽風管5；在抽風管5的后方加裝一把氣刀6，利用氣刀6的風力在其覆蓋區域內形成一道氣墻，阻擋刻蝕段3的酸氣擴散；利用抽風管路系統將氣刀6內噴出的氣體吸收，令抽風管5與氣刀6組成一個穩定的系統。?

硅片在工藝段均需要安裝蓋板2進行化學防護，防止化學段?的藥水蒸汽散發至整個設備中。由于刻蝕段3的抽風量較低，一部分酸氣會向其它槽進行酸氣的外泄。?

為了盡可能在結構上減少酸氣外泄的量，各個工藝段與工藝段之間僅留一道＜10mm的縫隙，僅確保留硅片可以通過。?

酸氣散發至過渡區4，過渡區4長度要求≥300mm，過渡區4前方不可安裝抽風管，防止抽風管的吸力破壞刻蝕段的氣場。過渡區4的后方則需安裝一組強勁的抽風管5，避免抽風管5對刻蝕段3產生影響，過渡區4禁止安裝上蓋板2。?

設備工作過程中，從刻蝕段3散發出的大部分的酸氣均被抽風管5初步吸收。少部分的酸氣繼續散發至氣刀6處，由于工藝段連接處縫隙比較小，而氣刀6的風力強而集中，因此散發的酸氣被氣刀6組成的氣簾擋回，重新被抽風管5吸收。?

則本技術方案實施完畢。?