[實用新型]自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置

有效

• 申請號: 201220111143.6
• 申請日: 2012-03-22
• 公開（公告）號: CN202538504U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 陳皇志;林暉智;黃丈耘;郭勝惟
• 申請（專利權）人: 亞邦國際科技股份有限公司
• 主分類號: B01D36/02
• 分類號: B01D36/02
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 朱凌

1.一種自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，包含一廢油儲槽、一初濾單元、一初濾儲槽、一抑菌單元及至少一精濾單元，其特征在于：

該廢油儲槽儲置廢油泥，具有一輸出端；

該初濾單元，接設在該廢油儲槽的輸出端，廢油儲槽的廢油泥中的固形物經初濾單元濾除后得到初濾液，該初濾單元具有一輸出端；初濾儲槽，接設在初濾單元的的輸出端，該初濾儲槽暫存經由該初濾單元所釋出的初濾液；

該抑菌單元，接設在初濾單元的的輸出端，具有輸入端及一輸出端，該抑菌單元對該初濾儲槽內部的初濾液進行抑菌作業；

該精濾單元，接設在該抑菌單元的輸出端，對經過抑菌單元處理的濾液再進行精濾作業。

2.如權利要求１所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于：該抑菌單元具有一中空儲槽及一置于該中空儲槽內部的紫外線燈。

3.如權利要求１所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于：該抑菌單元具有一中空儲槽、一置于該中空儲槽內部的紫外線燈，及一連續環繞在該紫外線燈外周側的送料管，該送料管具有透光性。

4.如權利要求１所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于：該抑菌單元還具有一抑菌層，該抑菌層表面涂布光觸媒、奈米銀的任一種材料。

5.如權利要求１所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于：該精濾單元包含有一與該除菌單元的輸出端導通的精濾槽、一裝設在該精濾槽內的精濾膜組、一與該精濾膜組鏈接的驅動機構，以及一用以盛裝經過該精濾膜組處理后的再生油的再生油槽。

6.如權利要求５所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于：該精濾單元的精濾膜組是采用超濾膜、奈米膜、逆滲透膜的任一種。

7.如權利要求１所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于：該初濾單元具有一壓濾機，該壓濾機利用壓濾方式將廢油泥進行固液分離。

8.如權利要求１所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于：該初濾單元具有一離心機，該離心機利用離心沉降方式將廢油泥進行固液分離。

9.如權利要求１所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于：還包含有一廢液儲槽，該廢液儲槽盛接自該精濾單元所排出的濃縮廢液，并抽引回至該初濾單元內進行再過濾。

10.如權利要求５所述的自硅晶圓切割廢油泥中回收再生油的處理裝置，其特征在于：還包含一油質監測單元，該油質監測單元鏈接于該精濾單元的精濾槽與該再生油槽之間，再生油經由該油質監測單元作濁度精密判別，經符合標準的再生油釋出于該再生油槽內回收，未達標準的再生油被接引回該精濾槽內。