[實用新型]一種電容式加速度傳感器有效
| 申請號： | 201220110866.4 | 申請日： | 2012-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN202512136U | 公開（公告）日： | 2012-10-31 |
| 發明（設計）人： | 陳超;王濤;馬淑敏;周泓希;蔣亞東 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 成都華典專利事務所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐豐;楊保剛 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電容 加速度 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種電容式加速度傳感器，包括一對固定電極和中間可動電極，中間可動電極包括起到支撐、保護作用的框架，所述可動電極包括質量塊和中心對稱的L型四個懸臂梁結構，其特征在于：中間可動電極的質量塊上開一些陣列排布的形狀各異的阻尼孔。
2.根據權利要求1所述的電容式加速度傳感器，其特征在于：所述中間可動電極的質量塊上阻尼孔呈圓形。
3.根據權利要求1所述的電容式加速度傳感器，其特征在于：所述中間可動電極的質量塊上阻尼孔呈八邊形。
4.根據權利要求1所述的電容式加速度傳感器，其特征在于：所述中間可動電極的質量塊上阻尼孔呈等邊三角形。
5.根據權利要求1所述的電容式加速度傳感器，其特征在于：所述中間可動電極的質量塊上阻尼孔的排布呈正方形。
6.根據權利要求1所述的電容式加速度傳感器，其特征在于：所述中間可動電極的質量塊上阻尼孔的排布呈環形。
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