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[實用新型]藍寶石晶體的生長設備有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201220107190.3 申請日: 2012-03-20
公開(公告)號: CN202576650U 公開(公告)日: 2012-12-05
發(fā)明(設計)人: 維塔利·塔塔琴科;劉一凡;帕維爾·斯萬諾夫;李東振;王東海;陳文淵;朱枝勇;牛沈軍;孫大偉 申請(專利權)人: 上海中電振華晶體技術有限公司
主分類號: C30B29/20 分類號: C30B29/20;C30B11/00
代理公司: 上海金盛協(xié)力知識產權代理有限公司 31242 代理人: 解文霞
地址: 201210 上海市浦東新*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 藍寶石 晶體 生長 設備
【權利要求書】:

1.一種藍寶石晶體的生長設備,其特征在于,所述設備包括

晶體生長爐;

加熱器,用以控制所述晶體生長爐的溫度;

坩堝,設置于晶體生長爐內,包括坩堝主體、設置于該坩堝主體上方的坩堝上部機構,坩堝上部機構的上端開口;坩堝上部機構的橫截面積s小于坩堝主體橫截面積S的1/100;

液面高度感測器,設置于坩堝上方,用以實時監(jiān)測坩堝上部機構的液面高度數據,以便獲得結晶速度變化數據,從而實現精確控制。

2.根據權利要求1所述的藍寶石晶體的生長設備,其特征在于:

所述坩堝上部機構為中空的細圓管。

3.根據權利要求1所述的藍寶石晶體的生長設備,其特征在于:

所述坩堝上部機構的體積V1>0.25×坩堝主體的體積V2。

4.根據權利要求1所述的藍寶石晶體的生長設備,其特征在于:

所述液面高度感應器包括可上下移動的探頭。

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