[實用新型]藍寶石晶體的生長設備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220107190.3 | 申請日: | 2012-03-20 |
| 公開(公告)號: | CN202576650U | 公開(公告)日: | 2012-12-05 |
| 發(fā)明(設計)人: | 維塔利·塔塔琴科;劉一凡;帕維爾·斯萬諾夫;李東振;王東海;陳文淵;朱枝勇;牛沈軍;孫大偉 | 申請(專利權)人: | 上海中電振華晶體技術有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/20 | 分類號: | C30B29/20;C30B11/00 |
| 代理公司: | 上海金盛協(xié)力知識產權代理有限公司 31242 | 代理人: | 解文霞 |
| 地址: | 201210 上海市浦東新*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 藍寶石 晶體 生長 設備 | ||
1.一種藍寶石晶體的生長設備,其特征在于,所述設備包括
晶體生長爐;
加熱器,用以控制所述晶體生長爐的溫度;
坩堝,設置于晶體生長爐內,包括坩堝主體、設置于該坩堝主體上方的坩堝上部機構,坩堝上部機構的上端開口;坩堝上部機構的橫截面積s小于坩堝主體橫截面積S的1/100;
液面高度感測器,設置于坩堝上方,用以實時監(jiān)測坩堝上部機構的液面高度數據,以便獲得結晶速度變化數據,從而實現精確控制。
2.根據權利要求1所述的藍寶石晶體的生長設備,其特征在于:
所述坩堝上部機構為中空的細圓管。
3.根據權利要求1所述的藍寶石晶體的生長設備,其特征在于:
所述坩堝上部機構的體積V1>0.25×坩堝主體的體積V2。
4.根據權利要求1所述的藍寶石晶體的生長設備,其特征在于:
所述液面高度感應器包括可上下移動的探頭。
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