[實用新型]一種噴頭裝置有效
| 申請號： | 201220105977.6 | 申請日： | 2012-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN202591048U | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 魏永 | 申請（專利權）人： | 恒諾微電子（嘉興）有限公司 |
| 主分類號： | B05C5/00 | 分類號： | B05C5/00;H01L21/56 |
| 代理公司： | 杭州天欣專利事務所 33209 | 代理人： | 陳紅 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 噴頭 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種噴頭裝置，包括設備接口組件和噴頭組件，設備接口組件與噴頭組件配合連接，其特征是：噴頭組件上設置有兩個以上的噴頭孔，噴頭孔與設備接口組件連通。
2.根據權利要求1所述的噴頭裝置，其特征是：所述噴頭孔有八個。
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