[實用新型]一種矩陣式藍(lán)寶石襯底有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220101546.2 | 申請日： | 2012-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN202503027U | 公開（公告）日： | 2012-10-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張保國;林岳明 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫納克斯半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 江陰市同盛專利事務(wù)所 32210 | 代理人： | 唐紉蘭;曾丹 |
| 地址： | 214434 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 矩陣 藍(lán)寶石 襯底 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種矩陣式藍(lán)寶石襯底，包括襯底本體（1），其特征在于所述襯底本體（1）的表面設(shè)有縱橫交錯布置的矩陣式刻槽（2）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種矩陣式藍(lán)寶石襯底，其特征在于所述襯底本體（1）的厚度為200um~1200um，所述刻槽（2）的深度為1nm~500um，所述刻槽（2）的寬度為0.1nm~5.0mm，所述縱橫交錯布置的刻槽（2）之間的距離為1mm~50mm。
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