[實用新型]石墨盤及異形襯底有效
| 申請號： | 201220100977.7 | 申請日： | 2012-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN202705461U | 公開（公告）日： | 2013-01-30 |
| 發明（設計）人： | 梁秉文;趙茂盛 | 申請（專利權）人： | 光達光電設備科技（嘉興）有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/44 | 分類號： | C23C16/44;C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉興市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石墨 異形 襯底 | ||
1.一種用于化學氣相沉積工藝的石墨盤，具有用于放置襯底的凹槽，其特征在于，所述凹槽為異形凹槽，所述異形凹槽中放置異形襯底，所述異形凹槽的形狀與所述異形襯底的形狀對應，所述異形襯底為圓形襯底以外的襯底，所述異形凹槽和異形襯底用于增大石墨盤的利用率。
2.如權利要求1所述的石墨盤，其特征在于，所述異形凹槽的形狀為等腰梯形、正六邊形、長方形或正方形。
3.如權利要求2所述的石墨盤，其特征在于，所述異形襯底的形狀和尺寸應滿足其外接圓的直徑為2英寸、4英寸、6英寸或8英寸。
4.如權利要求2所述的石墨盤，其特征在于，所述石墨盤的直徑為16～19英寸。
5.如權利要求4所述的石墨盤，其特征在于，所述異形凹槽和異形襯底的形狀為等腰梯形，所述異形襯底具有直徑為4英寸的外接圓，所述石墨盤中的異形凹槽和放置的異形襯底的數目分別為68個。
6.如權利要求4所述的石墨盤，其特征在于，所述異形凹槽和異形襯底的形狀為正方形，所述異形襯底具有直徑為4英寸的外接圓，所述石墨盤中的異形凹槽和放置的異形襯底的數目分別為21個。
7.一種異形襯底，其特征在于，所述異形襯底為圓形襯底以外的襯底，所述異形襯底的形狀為長方形、正方形、等腰梯形或正六邊形。
8.如權利要求7所述的異形襯底，其特征在于，所述異形襯底的形狀和尺寸應滿足其外接圓的直徑為2英寸、4英寸、6英寸或8英寸。?
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
