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[實用新型]氯硅烷取樣系統有效

專利信息
申請號: 201220100212.3 申請日: 2012-03-16
公開(公告)號: CN202453218U 公開(公告)日: 2012-09-26
發明(設計)人: 王恒孝;唐猷成;胡小冬;王嶺;劉建鋒;黎展榮;蒲曉東 申請(專利權)人: 四川新光硅業科技有限責任公司
主分類號: G01N1/10 分類號: G01N1/10
代理公司: 四川力久律師事務所 51221 代理人: 劉雪蓮;林輝輪
地址: 614000*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 硅烷 取樣 系統
【權利要求書】:

1.氯硅烷取樣系統,包括取樣器主體(1)、樣品輸入裝置、樣品輸出裝置,所述取樣器主體包括取樣瓶(101)、壓蓋(104)、取樣器輸入口(102)和取樣器輸出口(103),所述樣品輸入裝置通過管線、進口二位三通閥(2)與取樣器輸入口(102)連通;所述樣品輸出裝置通過管線、出口二位三通閥(3)與取樣器輸出口連通,其特征在于:所述進口二位三通閥(2)與樣品輸入裝置之間還通過管線Ⅰ(11)連接有保護氣體輸入裝置,所述出口二位三通閥(3)與樣品輸出裝置之間還通過管線Ⅱ(12)連接有保護氣體輸出裝置;所述進口二位三通閥(2)和所述出口二位三通閥(3)之間還連接有取樣瓶旁路管道(8)。

2.根據權利要求1所述的氯硅烷取樣系統,其特征在于:所述保護氣體輸入裝置包括閥門Ⅲ(7),所述進口二位三通閥(2)與樣品輸入裝置之間通過管線Ⅰ(11)與閥門Ⅲ(7)連接。

3.根據權利要求2所述的氯硅烷取樣系統,其特征在于:所述樣品輸入裝置包括閥門Ⅰ(4),所述管線Ⅰ(11)輸入端與所述閥門Ⅲ(7)的輸出口連接,所述管線Ⅰ(11)的輸出端與閥門Ⅰ(4)的輸出口連接。

4.根據權利要求1所述的氯硅烷取樣系統,其特征在于:保護氣體輸出裝置包括閥門Ⅳ(6),所述出口二位三通閥(3)與樣品輸出裝置之間通過管線Ⅱ(12)與閥門Ⅳ(6)連接。

5.根據權利要求4所述的氯硅烷取樣系統,其特征在于:所述樣品輸出裝置包括閥門Ⅱ(5),所述管線Ⅱ(12)輸出端與所述閥門Ⅳ(6)的輸入口連接,所述管線Ⅱ(12)輸入端與閥門Ⅱ(5)的輸出口連接。

6.根據權利要求2-5任意一項所述的氯硅烷取樣系統,其特征在于:所述閥門Ⅰ(4)、閥門Ⅱ(5)、閥門Ⅲ(7)和閥門Ⅳ(6)均為針型閥。

7.根據權利要求1-5任意一項所述的氯硅烷取樣系統,其特征在于:所述壓蓋(104)中心開有孔。

8.根據權利要求1-5任意一項所述的氯硅烷取樣系統,其特征在于:壓蓋(104)與取樣瓶(101)的筒體之間設置有膠墊。

9.根據權利要求1-5任意一項所述的氯硅烷取樣系統,其特征在于:所述樣品輸出裝置管路終端連接有貯罐(9),所述保護氣體輸出裝置管路終端連接有廢氣處理裝置(10)。

10.根據權利要求1-5任意一項所述的氯硅烷取樣系統,其特征在于:所取樣瓶(101)設置有可供觀察的視窗。

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