[實用新型]加熱爐

有效

• 申請號: 201220091366.0
• 申請日: 2012-03-12
• 公開（公告）號: CN202547402U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 伊藤倫弘
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社;NGK凱倫泰克株式會社
• 主分類號: F27D11/02
• 分類號: F27D11/02
• 代理公司: 北京北翔知識產權代理有限公司 11285
• 代理人: 楊勇;鄭建暉

技術領域

本實用新型涉及一種加熱爐的爐內加熱器配置結構。

背景技術

作為電子部件用粉體的燒成技術已知的是，將粉末原料容納于稱為匣缽的耐熱容器內，并在高溫加熱爐內搬送的同時以高溫進行熱處理的方法。該加熱處理方法中，從防止爐內污染的觀點來看，多使用陶制加熱器，特別是棒狀SiC加熱器(專利文獻1)。

關于該棒狀SiC加熱器的爐內配置，以前從避免棒狀SiC加熱器貫通的爐壁的內壁面側發生加熱器過度加熱以及與此相伴的加熱器老化的觀點出發，如圖5所示，采用調整棒狀加熱器的發熱部的位置使其與內壁面相隔50mm左右的方法。可以看到原本爐壁附近的溫度由于從爐壁的放熱而有降低的傾向，但是如果采用以上所述的棒狀加熱器的發熱部配置，則可觀察到內壁附近的溫度降低更加顯著的現象。

特別地，近年來，為了提高爐的生產率，存在擴大爐寬的傾向。與此相伴，出現了爐寬度方向上的溫度不均勻的情況變嚴重，發生被燒成物的品質不均勻的問題。

現有技術文獻

專利文獻1：特開2009-103331號公報

實用新型內容

實用新型要解決的課題

本實用新型的目的在于解決上述的問題，提供一種能夠降低伴隨著爐寬擴大所引起的爐寬度方向上的溫度不均勻的加熱爐。

解決課題的方法

為解決上述課題而提出的本實用新型的方案1的加熱爐，使多個具有發熱部和非發熱部的棒狀SiC加熱器在爐寬度方向上貫通爐壁而配置在爐長尺寸方向上，其特征在于，在爐長尺寸方向上配置的多個棒狀SiC加熱器之間，具備保持在一側的爐壁上從而對該內壁面附近進行加熱的輔助加熱器。

以方案1的加熱爐為基礎的方案2的實用新型，其特征在于，在該棒狀SiC加熱器貫通的爐壁的內壁面側形成有切槽部，該棒狀SiC加熱器中，使切槽部內成為非發熱部、使從內壁面到爐內側成為發熱部。

以方案1或方案2的加熱爐為基礎的方案3的實用新型，其特征在于，將輔助加熱器在爐長尺寸方向上與該棒狀SiC加熱器交替配置。

以方案1-3任一方案所述的加熱爐為基礎的方案4的實用新型，其特征在于，輔助加熱器具有棒狀，從爐壁突出的突出部為爐寬的1/20-1/5。

以方案1-3任一方案所述的加熱爐為基礎的方案5的實用新型，其特征在于，輔助加熱器具有コ字狀。

實用新型效果

以前從避免SiC加熱器貫通的爐壁的內壁面側發生加熱器過度加熱以及與此相伴的加熱器老化的觀點出發，如圖5所示，采用了調整加熱器的發熱部的位置使其與內壁面相隔50mm左右的方法，而該結構會引起內壁面附近出現爐內溫度降低的現象，但本實用新型的加熱爐結合了如下結構，由此避免了現有技術中內壁附近發生爐內溫度降低的現象，所述結構為，在爐寬度方向上貫通爐壁而配置的加熱爐具備保持在一側的爐壁而對內壁面附近進行加熱的輔助加熱器的結構。

即，根據本實用新型，能夠避免現有的內壁附近發生爐內溫度降低的現象，因此，即使在以爐的生產率提高為目的而擴大爐寬的情況下，也能夠有效控制爐寬度方向的溫度不均勻的現象。

此外，進一步地，如果在棒狀SiC加熱器貫通的爐壁的內壁面側形成切槽部，該棒狀SiC加熱器還具備使切槽部內成為非發熱部、使內壁面到爐內側成為發熱部的結構，根據該結構，能更有效控制爐寬度方向的溫度不均勻的現象。

附圖說明

圖1是本實施方案的加熱爐的爐寬度方向放大剖面圖。

圖2是圖1的沿A-A線的剖面圖。

圖3是圖1的沿A-A線的剖面圖。(關于輔助加熱器的其他實施方案)

圖4是使用在本實施方案的加熱爐的棒狀SiC加熱器的構成說明圖和爐內溫度分布圖。

圖5是使用在現有技術的加熱爐的棒狀SiC加熱器的構成說明圖和爐內溫度分布圖。

具體實施方案

以下，對本實用新型的優選實施方案進行說明。

圖1示出了表示本實施方案的加熱爐的爐寬度方向的放大剖面圖。本實施方案的加熱爐是輥道窯，爐體1是眾所周知的隧道結構，在其內部以一定間距配置有多個搬送用的棍子2。各棍子2是高溫強度優秀的Si-SiC制品，并通過設置在爐外的驅動裝置以一定速度被驅動。此外Si-SiC是含浸Si的致密的SiC，在1300℃下具有250MN/m²的高強度。另外其材質還具有優秀的耐蠕變性、抗氧化性、紅外線放射性。

作為被燒成物的粉體容納于陶制的匣缽3，排列多個匣缽3的狀態下搬送到棍子2上，并在500-1200℃下進行熱處理。