[實用新型]雙功能掩模臺底部裝置

有效

• 申請號: 201220079643.6
• 申請日: 2012-03-05
• 公開（公告）號: CN202600359U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 吳飛;朱誠;王保亮;王凱;袁志揚
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種雙功能掩模臺底部裝置，其特征在于，包括：

水平橫梁，其承載一掩模臺；

支撐立柱，位于所述水平橫梁的兩側，所述水平橫梁通過緊固件鎖緊固定在所述支撐立柱上；

垂向導桿，沿豎直方向設置在所述支撐立柱上；

滑動導軌，平行于水平橫梁設置且活動連接至垂向導桿，于初始狀態下位于水平橫梁下方且與水平橫梁之間具有間隔；

升降驅動機構，驅動滑動導軌沿垂向導桿上升或下降，當滑動導軌上升至與水平橫梁相接觸時，通過松開緊固件使滑動導軌承載著水平橫梁繼續上升或下降；

水平驅動機構，當滑動導軌承載有水平橫梁時，水平驅動機構驅動水平橫梁沿滑動導軌移動。

2.如權利要求1所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述水平橫梁為兩根，相互平行設置；所述支撐立柱為四根，每兩根支撐立柱對應一根水平橫梁安裝在水平橫梁的兩側。

3.如權利要求1或2所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述水平驅動機構包括移動驅動手柄、滾珠絲桿，所述滾珠絲桿設置于所述移動驅動手柄和所述水平橫梁之間，所述移動驅動手柄的轉動驅動所述滾珠絲桿使得水平橫梁沿滑動導軌移動。?

4.如權利要求2所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述升降驅動機構包括升降驅動手柄、齒輪箱和傳動軸，所述傳動軸設置在相鄰的兩根支撐立柱之間，所述齒輪箱分別安裝在所述支撐立柱上并嚙合連接所述傳動軸，所述升降驅動手柄設置在任一齒輪箱上，所述升降驅動手柄的轉動驅動所述齒輪箱帶動傳動軸使滑動導軌沿垂向導桿同步上升或下降。

5.如權利要求4所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述傳動軸為三根，分別設置在任意三根相鄰的支撐立柱之間。

6.如權利要求4所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述升降驅動機構還包括氣動彈簧，所述氣動彈簧的一端與一支撐立柱連接，另一端與所述滑動導軌連接，以推動所述滑動導軌沿著所述垂向導桿上升或下降。

7.如權利要求6所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述氣動彈簧為氮氣彈簧。

8.如權利要求1或2所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述緊固件為定位銷和螺栓。

9.如權利要求1或2所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述水平橫梁的材料為C型鋼。

10.如權利要求2所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述掩模臺底部裝置還包括連接相鄰兩根支撐立柱的結構連接桿。

11.如權利要求2所述的掩模臺底部裝置，其特征在于，所述掩模臺底部裝置還包括橫跨連接兩根平行的所述水平橫梁的連接加強板。?