[實用新型]一種氣相沉積合成爐

有效

• 申請號: 201220075688.6
• 申請日: 2012-03-02
• 公開（公告）號: CN202543037U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 聶蘭艦;宋學富;向在奎;隋梅;王玉芬
• 申請（專利權）人: 中國建筑材料科學研究總院
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 魯兵

1.一種氣相沉積合成爐，其特征在于，包括以下組件：

1)封閉式爐體及用于支撐爐體的支撐架；

2)保溫爐膛，設于爐體內部；

3)氫氧火焰燃燒器，設置于爐體的斜下部且燃燒器中心料管出口端伸入保溫爐膛，且設有氫氣、氧氣和四氯化硅原料氣的進氣口；

4)石英基礎桿，從爐體頂部垂直延伸入爐體內腔保溫爐膛內，位于氫氧火焰燃燒器的中心料管出口端上，石英基礎桿的底端面與氫氧火焰燃燒器出口端相對；

5)煙囪，設置于爐體頂部或爐體一側，煙囪的煙道入口高于石英基礎桿的底端面。

2.根據權利要求1所述的氣相沉積合成爐，其特征在于，氫氧火焰燃燒器中心下料管出口端到石英基礎桿底端的垂直距離為5-300mm。

3.根據權利要求2所述的氣相沉積合成爐，其特征在于，所述氫氧火焰燃燒器的數量為1-6個。

4.根據權利要求3所述的氣相沉積合成爐，其特征在于，所述氫氧火焰燃燒器與石英基礎桿中心延長線的夾角為0-90°。

5.根據權利要求1或2所述的氣相沉積合成爐，其特征在于，所述氫氧火焰燃燒器的數量為1個，所述氫氧火焰燃燒器與石英基礎桿中心延長線的夾角為0°。

6.根據權利要求1或2所述的氣相沉積合成爐，其特征在于，所述氫氧火焰燃燒器的數量為2-6個，均布在爐體的斜下部且與石英基礎桿中心延長線的夾角為0-90°。

7.根據權利要求1或2所述的氣相沉積合成爐，其特征在于，所述石英基礎桿的材質為石英玻璃，其底端面為平面或圓球形或橢圓形，垂直卡位安裝在帶自動升降和旋轉的車床上。