[實用新型]一體化CIGS薄膜太陽能電池生產設備有效
| 申請號： | 201220074718.1 | 申請日： | 2012-03-02 |
| 公開（公告）號： | CN202585498U | 公開（公告）日： | 2012-12-05 |
| 發明（設計）人： | 王進東 | 申請（專利權）人： | 江蘇宇天港玻新材料有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人： | 龔擁軍 |
| 地址： | 223100 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一體化 cigs 薄膜 太陽能電池 生產 設備 | ||
1.一種一體化CIGS薄膜太陽能電池生產設備，其特征在于，包括依次設置并一體連接形成整體生產設備的一次清洗裝置、第一組鍍膜室、一次刻線裝置、二次清洗裝置、第二組鍍膜室、硒化裝置、二次刻線裝置、三次清洗裝置、第三組鍍膜室。
2.如權利要求1所述的一體化CIGS薄膜太陽能電池生產設備，其特征在于，在所述第一組鍍膜室中形成鉬金屬層，在第二組鍍膜室中依次形成銅銦鎵層，在所述硒化裝置中對形成的銅銦鎵層進行硒化，在所述第三組鍍膜室中形成氧化鋅層。
3.如權利要求1所述的一體化CIGS薄膜太陽能電池生產設備，其特征在于，所述硒化裝置位于所述第二組鍍膜室中與之一體連接。
4.如權利要求1所述的一體化CIGS薄膜太陽能電池生產設備，其特征在于，所述第一組鍍膜室、第二組鍍膜室和第三組鍍膜室均分別包括依次連接的1-6號六個鍍膜室。
5.如權利要求4所述的一體化CIGS薄膜太陽能電池生產設備，其特征在于，所述第一組鍍膜室、第二組鍍膜室和第三組鍍膜室均具有兩個法蘭，其分別位于2號鍍膜室與3號鍍膜室之間和4號鍍膜室與5號鍍膜室之間。
6.如權利要求1所述的一體化CIGS薄膜太陽能電池生產設備，其特征在于，還包括依次連接的第一轉換室、第二轉換室、第三轉換室和等待室。
7.如權利要求6所述的一體化CIGS薄膜太陽能電池生產設備，其特征在于，還包括與第一轉換室連接的旋片泵，與第二轉換室連接的羅茨泵，與第三轉換室連接的分子泵。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
