[實(shí)用新型]二極管酸洗機(jī)循環(huán)水酸溫控制裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220074138.2 | 申請(qǐng)日: | 2012-03-01 |
| 公開(公告)號(hào): | CN202523690U | 公開(公告)日: | 2012-11-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 沈耀軍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江蘇通寧電子器材有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 二極管 酸洗 循環(huán) 溫控 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種對(duì)二極管表面進(jìn)行酸洗處理的裝置,特別是涉及到一種二極管酸洗機(jī)循環(huán)水酸溫控制裝置。
背景技術(shù)
現(xiàn)有的二極管表面清洗裝置一股是包括酸洗盤和酸洗槽,酸洗盤設(shè)置于酸洗槽上,酸洗盤上設(shè)置有漏酸孔,將洗滌二極管表面產(chǎn)生的酸液流入到酸洗槽中,經(jīng)過(guò)處理后,能夠回收利用。因?yàn)樗嵯匆壕哂休^強(qiáng)的腐蝕性,酸洗的作用是將二極管晶粒表面的沾污和損傷層通過(guò)酸腐蝕去除,得到潔凈、光滑平整且具有合適角度的晶粒臺(tái)面,因此,在清洗過(guò)程中,一般是將酸洗液直接沖到二極管表面對(duì)二極管進(jìn)行清洗,通常對(duì)酸洗機(jī)的酸洗盤上的二極管進(jìn)行清洗時(shí),酸洗液的溫度要求在25℃左右,因酸的溫度決定腐蝕速度,但具有腐蝕性的酸難以直接進(jìn)行加溫,通常是使用暖氣機(jī)或空調(diào)機(jī),加熱工作場(chǎng)所,使用人工操控酸洗液的溫度,這種方式不僅浪費(fèi)能源,且容易發(fā)生安全事故,常因操作場(chǎng)所溫度低于工藝要求和人工誤操作導(dǎo)致酸洗效率低,同時(shí),清洗時(shí)間會(huì)比較長(zhǎng),工作效率低下。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)背景技術(shù)中所述的具有腐蝕性的酸難以直接進(jìn)行加溫或通過(guò)使用暖氣機(jī)或空調(diào)機(jī)對(duì)環(huán)境溫度調(diào)溫方法又會(huì)導(dǎo)致的電能源浪費(fèi)和環(huán)境污染的問(wèn)題而提供一種二極管酸洗機(jī)循環(huán)水酸溫控制裝置。
實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的發(fā)明目的的技術(shù)方案如下:
一種二極管酸洗機(jī)循環(huán)水酸溫控制裝置,其包括儲(chǔ)酸箱、儲(chǔ)酸箱保溫層、手動(dòng)調(diào)節(jié)閥、噴酸管道、電磁閥、酸洗機(jī)水槽、酸洗盤、進(jìn)水管道、水泵、循環(huán)水加溫箱、測(cè)溫探頭、加溫器、溫度控制器、出水管道。其特征在于酸洗盤設(shè)置于酸洗機(jī)水槽上,所述的噴酸管道下端與儲(chǔ)酸箱連通,噴酸管道連接手動(dòng)調(diào)節(jié)閥和電磁閥,手動(dòng)調(diào)節(jié)閥位于噴酸管道與儲(chǔ)酸箱連通的一端,電磁閥位于噴酸管道的酸洗盤的一端,進(jìn)水管道連通儲(chǔ)酸箱保溫層和循環(huán)水加溫箱,水泵設(shè)置在進(jìn)水管道上,出水管道連通儲(chǔ)酸箱保溫層和循環(huán)水加溫箱,加溫器、測(cè)溫探頭設(shè)置在循環(huán)水加溫箱中,與溫度控制器電氣連通,所述的儲(chǔ)酸箱保溫層位于儲(chǔ)酸箱的外部。
進(jìn)一步說(shuō)明,本實(shí)用新型一種二極管酸洗機(jī)循環(huán)水酸溫控制裝置,所述的出酸溫度自動(dòng)調(diào)溫控制,是由進(jìn)水管道將循環(huán)水加溫箱中的溫水輸入到儲(chǔ)酸箱保溫層中,通過(guò)水溫對(duì)儲(chǔ)酸箱中的酸間接的進(jìn)行了加溫,此時(shí)儲(chǔ)酸箱中的酸溫會(huì)被儲(chǔ)酸箱保溫層中的水溫所影響,使酸的溫度符合酸洗二極管材料的工藝要求溫度,所述的水泵,其作用是由進(jìn)水管道將循環(huán)水加溫箱中的溫水輸入到儲(chǔ)酸箱保溫層中后,再通過(guò)出水管道循環(huán)輸入到循環(huán)水加溫箱中循環(huán)加溫,所述的加溫器其作用是加溫循環(huán)水加溫箱中水,所述的測(cè)溫探頭其作用是探測(cè)循環(huán)水加溫箱中水的溫度,當(dāng)循環(huán)水加溫箱中水的溫度低于或高于酸洗二極管材料的工藝要求溫度時(shí),測(cè)溫探頭將信號(hào)傳回溫度控制器,再由溫度控制器向加溫器發(fā)出指令,開始或停止加溫。
本實(shí)用新型的有益效果為:
一種二極管酸洗機(jī)循環(huán)水酸溫控制裝置,將水通過(guò)加溫器加溫到預(yù)定的溫度,由進(jìn)水管道通過(guò)水泵將加熱后水注入到儲(chǔ)酸箱一周設(shè)計(jì)好的儲(chǔ)酸箱保溫層中,通過(guò)循環(huán)加溫的水對(duì)酸進(jìn)行間接式加溫,使酸的溫度符合酸洗二極管材料的工藝要求的溫度,解決了具有腐蝕性的酸難以直接進(jìn)行加溫而通過(guò)使用暖氣機(jī)或空調(diào)機(jī)對(duì)環(huán)境溫度調(diào)溫方法又會(huì)導(dǎo)致的電能源浪費(fèi)和環(huán)境污染的問(wèn)題,通過(guò)酸洗將二極管晶粒表面的沾污和損傷層通過(guò)酸腐蝕去除,得到潔凈、光滑平整且具有合適角度的二極管材料。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用新型的示意圖。
在圖1中:1-儲(chǔ)酸箱、2-儲(chǔ)酸箱保溫層,3-手動(dòng)調(diào)節(jié)閥、4-噴酸管道、5-電磁閥、6-酸洗機(jī)水槽、7-酸洗盤、8-進(jìn)水管道、9-水泵、10-循環(huán)水加溫箱、11-測(cè)溫探頭、12-加溫器、13-溫度控制器、14-出水管道。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1所示的一種二極管酸洗機(jī)循環(huán)水酸溫控制裝置,,其包括儲(chǔ)酸箱1、儲(chǔ)酸箱保溫層2,手動(dòng)調(diào)節(jié)閥3、噴酸管道4、電磁閥5、酸洗機(jī)水槽6、酸洗盤7、進(jìn)水管道8、水泵9、循環(huán)水加溫箱10、測(cè)溫探頭11、加溫器12、溫度控制器13、出水管道14。其特征在于酸洗盤7設(shè)置于酸洗機(jī)水槽6上,所述的噴酸管道4下端與儲(chǔ)酸箱1連通,噴酸管道4連接手動(dòng)調(diào)節(jié)閥3和電磁閥5,手動(dòng)調(diào)節(jié)閥3位于噴酸管道4與儲(chǔ)酸箱1連通的一端,電磁閥5位于噴酸管道4位于酸洗盤7的一端,進(jìn)水管道8連通儲(chǔ)酸箱保溫層2和循環(huán)水加溫箱10,水泵9設(shè)置在進(jìn)水管道8上,出水管道14連通儲(chǔ)酸箱保溫層2和循環(huán)水加溫箱10,加溫器12、測(cè)溫探頭11設(shè)置在循環(huán)水加溫箱10中,與溫度控制器電13氣連通,所述的儲(chǔ)酸箱保溫層2位于儲(chǔ)酸箱1的外部。
所述的出酸溫度自動(dòng)調(diào)溫控制,是由進(jìn)水管道8將循環(huán)水加溫箱10中的溫水輸入到儲(chǔ)酸箱保溫層2中,通過(guò)水溫對(duì)儲(chǔ)酸箱1中的酸間接的進(jìn)行了加溫,此時(shí)儲(chǔ)酸箱1中的酸溫會(huì)被儲(chǔ)酸箱保溫層2中的水溫所影響,使酸的溫度符合酸洗二極管材料的工藝要求溫度,所述的水泵9,其作用是由進(jìn)水管道8將循環(huán)水加溫箱10中的溫水輸入到儲(chǔ)酸箱保溫層2中后,再通過(guò)出水管道14循環(huán)輸入到循環(huán)水加溫箱10中循環(huán)加溫,所述的加溫器12其作用是加溫循環(huán)水加溫箱10中的水,所述的測(cè)溫探頭11其作用是探測(cè)循環(huán)水加溫箱10中水的溫度,當(dāng)循環(huán)水加溫箱10中水的溫度低于或高于酸洗二極管材料的工藝要求溫度時(shí),測(cè)溫探頭11將信號(hào)傳回溫度控制器13,再由溫度控制器13向加溫器12發(fā)出指令,開始或停止加溫。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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