[實用新型]一種硅片清洗槽有效
| 申請號： | 201220067270.0 | 申請日： | 2012-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN202461046U | 公開（公告）日： | 2012-10-03 |
| 發明（設計）人： | 陳宏 | 申請（專利權）人： | 張家港市超聲電氣有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/12 | 分類號： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215618 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片清洗槽，包括槽體、用于封閉所述槽體的槽蓋、與所述槽體相對固定地設置的槽架、設置在所述槽體后部并用于驅動所述的槽蓋動作的氣缸，其特征在于：所述的槽蓋包括一端部鉸接在所述的槽架上的第一槽蓋、一端部與所述的第一槽蓋的另一端部鉸接在一起的第二槽蓋，所述的氣缸的活塞桿與所述的第一槽蓋相鉸接。
2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗槽，其特征在于：所述的第二槽蓋的另一端部轉動連接有滾輪，所述的滾輪與所述槽體的上端面相滾動摩擦接觸。
3.根據權利要求1所述的一種硅片清洗槽，其特征在于：所述的第二槽蓋的長度大于等于所述的第一槽蓋的長度。
4.根據權利要求1所述的一種硅片清洗槽，其特征在于：所述的槽體的上端面上開設有用于引導所述的滾輪的運動方向的滾輪槽，所述的滾輪至少部分位于所述的滾輪槽內。
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