[實用新型]一種新型的半導體加工模具有效
| 申請號: | 201220067117.8 | 申請日: | 2012-02-28 |
| 公開(公告)號: | CN202601584U | 公開(公告)日: | 2012-12-12 |
| 發明(設計)人: | 閻希華;丁哲鎮 | 申請(專利權)人: | 青島技場半導體儀器有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 266000 山東省青島市高*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 新型 半導體 加工 模具 | ||
技術領域:
本實用新型涉及一種半導體模具,具體涉及一種新型的半導體加工模具。
背景技術:
隨著半導體技術的日趨發展,半導體加工也逐漸批量化,在半導體加工過程中,需要將半導體進行排列,現有的排列半導體的模具材料導熱,影響產品的效果,同時,目前的排列半導體的模具都是直接在模具上進行打孔,如果有一個排列孔出現磨損、劃傷之類的就需要更換整個模具模板,浪費材料。
實用新型內容:
本實用新型的目的是提供一種新型的半導體加工模具,它將排列半導體的孔用鑲件代替,如果個別的孔出現問題,可以只更換相對應的鑲件,節約材料,降低生產成本。
為了解決背景技術所存在的問題,本實用新型是采用以下技術方案:它包含模具本體1、鑲件2;所述的模具本體1上部設置有數個安裝孔,數個鑲件2分別固定在安裝孔內。
所述的安裝孔的底部設置有工藝槽3,安裝穩定。
所述的模具本體1采用耐熱材料制成。
本實用新型具有以下有益效果:它將排列半導體的孔用鑲件代替,如果個別的孔出現問題,可以只更換相對應的鑲件,節約材料,降低生產成本。
附圖說明:
圖1為本實用新型的結構示意圖,
圖2為本實用新型的剖視圖。
具體實施方式:
參看圖1-2,本具體實施方式采用以下技術方案:它包含模具本體1、鑲件2;所述的模具本體1上部設置有數個安裝孔,數個鑲件2固定在安裝孔內。
所述的安裝孔的底部設置有工藝槽3,安裝穩定。
所述的模具本體1采用耐熱材料制成。
本具體實施方式將排列半導體的孔用鑲件代替,如果個別的孔出現問題,可以只更換相對應的鑲件,節約材料,降低生產成本。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





