[實用新型]氣缸

有效

• 申請號: 201220066444.1
• 申請日: 2012-02-25
• 公開（公告）號: CN202468539U
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 董紹永
• 申請（專利權）人: 董紹永
• 主分類號: F15B15/20
• 分類號: F15B15/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及機械結構技術領域，尤其是涉及氣缸。

背景技術

目前，半導體薄膜材料外延生長的方法主要采用化學氣相沉積技術，該技術在對于晶圓進行化學氣相沉積之前，晶圓一般都由機械手從晶圓暫存裝置或是上一個制程的設備中傳送過來待命。當化學氣相沉積設備可用時，化學氣相沉積設備上的氣缸就會放氣來打開化學氣相沉積設備的腔體門，并通過機械手將晶圓傳送至化學氣相沉積設備中。由于氣缸通常是采用油密封結構的，因此在氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，從而對晶圓質量產生損壞。

實用新型內容

針對上述現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供氣缸，它具有可防止氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，避免對晶圓質量產生損壞的特點。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：氣缸，包括氣缸本體，所述氣缸本體包括上濾油裝置和下濾油裝置，所述上濾油裝置與所述下濾油裝置通過螺栓連接，所述上濾油裝置包括上支撐連接塊和與上支撐連接塊配合連接的上濾油層，所述下濾油裝置包括下支撐連接塊和與下支撐連接塊配合連接的下濾油層，所述下濾油層插設于所述下支撐連接塊內，所述上支撐連接塊與下支撐連接塊均開設有排氣孔，所述上濾油層與所述下濾油層分別罩設于所述排氣孔上方。

其中，所述上濾油層與所述下濾油層均為油氈或無塵過濾紙。

采用上述結構后，本實用新型和現有技術相比所具有的優點是：本實用新型包括氣缸本體，所述氣缸本體包括上濾油裝置和下濾油裝置，所述上濾油裝置與所述下濾油裝置通過螺栓連接，所述上濾油裝置包括上支撐連接塊和與上支撐連接塊配合連接的上濾油層，所述下濾油裝置包括下支撐連接塊和與下支撐連接塊配合連接的下濾油層，所述下濾油層插設于所述下支撐連接塊內，所述上支撐連接塊與下支撐連接塊均開設有排氣孔，所述上濾油層與所述下濾油層分別罩設于所述排氣孔上方，本實用新型通過在氣缸本體設置兩個濾油裝置，且兩個濾油裝置均開設有排氣孔，故可防止氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，避免對晶圓質量產生損壞。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1、氣缸本體；????2、上濾油裝置；

3、下濾油裝置；????????4、螺栓；

5、上支撐連接塊；??????6、上濾油層；

7、下支撐連接塊；??????8、下濾油層。

具體實施方式

以下所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不因此而限定本實用新型的保護范圍。

如圖1所示：氣缸，包括氣缸本體1，所述氣缸本體1包括上濾油裝置2和下濾油裝置3，所述上濾油裝置2與所述下濾油裝置3通過螺栓4連接，所述上濾油裝置2包括上支撐連接塊5和與上支撐連接塊5配合連接的上濾油層6，所述下濾油裝置3包括下支撐連接塊7和與下支撐連接塊7配合連接的下濾油層8，所述下濾油層8插設于所述下支撐連接塊7內，所述上支撐連接塊5與下支撐連接塊7均開設有排氣孔，所述上濾油層6與所述下濾油層8分別罩設于所述排氣孔上方，本實用新型通過在氣缸本體1設置兩個濾油裝置，且兩個濾油裝置均開設有排氣孔，故可防止氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，避免對晶圓質量產生損壞。

本實施例中，所述上濾油層6與所述下濾油層8均為油氈或無塵過濾紙，所述上濾油層6與所述下濾油層8出了采用油氈或無塵過濾紙外還可為其他的材料，只要能防止氣缸放氣打開腔體門的過程中，油滴可能會隨著放出氣體一同從氣缸的排氣孔中排出而濺落在晶圓上，避免對晶圓質量產生損壞即可。

以上所述僅是本實用新型的較佳實施方式，故凡依本實用新型專利申請范圍所述的構造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實用新型專利申請范圍內。