[實用新型]一種微力探測器

有效

• 申請號: 201220063340.5
• 申請日: 2012-02-21
• 公開（公告）號: CN202522351U
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發明（設計）人: 徐東升
• 申請（專利權）人: 徐東升
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

(一)技術領域

本實用新型涉及力敏傳感器領域，尤其是涉及到用于微小力探測的一種微力探測器。

(二)背景技術

利用材料的物理性質在力的作用下發生變化的現象制備了力敏傳感器。力敏傳感器的種類甚多、傳統的測量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，但它的體積大、笨重、輸出非線性。隨著微電子技術的發展，利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性，研制出半導體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優點，因此半導體力敏傳感器得到廣泛應用。隨著新材料的不斷發展，力敏傳感器進一步發展成基于壓電材料、磁致伸縮材料等材料。以上的力敏傳感器都是基于材料本身的物理性質在力的作用下發生變化進而對力進行探測，其靈敏度取決于材料本身的物理性質。

(三)發明內容

本實用新型提供一種微力探測器，其利用光學的方法來探測微力，通過結構的設計，依靠杠桿原來進行探測的放大，可以實現微力的探測。為了實現上述目的，本實用新型所采取的技術方案為，一種微力探測器，包括固定端、柔性支撐桿、力探測端、激光光源、檢測端，其中，柔性支撐桿的一端固定于固定端，另一端與力探測端相連接；柔性支撐桿表面鍍有反射光的平滑材料；激光光源、檢測端為于柔性支撐桿的正上方，且激光光源與檢測端關于柔性支撐桿的發現對稱分布。

本實用新型的有益效果是：采用光學的方法來探測微力，干擾小，根據微力的大小，可以調節杠桿的放大量，通過結構設計優化力的檢測，實現高靈敏度的微力探測。

(四)附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中：1、固定端，2、柔性支撐桿，3、力探測端，4、激光光源，5、檢測端

(五)具體實施方式

以下結合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。

圖1為本實用新型的結構示意圖，固定端1、柔性支撐桿2、力探測端3、激光光源4、檢測端5，其中，柔性支撐桿2的一端固定于固定端1，另一端與力探測端3相連接；柔性支撐桿2表面鍍有反射光的平滑材料；激光光源4、檢測端5為于柔性支撐桿2的正上方，且激光光源4與檢測端5關于柔性支撐桿的發現對稱分布。當微力作用于力探測端3時，柔性支撐桿2發生彎曲，激光光源射出的光線發生偏轉，檢測端檢測到這一變化。本實用新型采用光學的方法來探測微力，干擾小，根據微力的大小，可以調節杠桿的放大量，通過結構設計優化力的檢測，實現高靈敏度的微力探測。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。