[實(shí)用新型]一種微力探測(cè)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220063340.5
• 申請(qǐng)日: 2012-02-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202522351U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐東升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 徐東升
• 主分類號(hào): G01L1/24
• 分類號(hào): G01L1/24
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

(一)技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及力敏傳感器領(lǐng)域，尤其是涉及到用于微小力探測(cè)的一種微力探測(cè)器。

(二)背景技術(shù)

利用材料的物理性質(zhì)在力的作用下發(fā)生變化的現(xiàn)象制備了力敏傳感器。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的測(cè)量方法是利用彈性元件的形變和位移來(lái)表示，但它的體積大、笨重、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性，研制出半導(dǎo)體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。隨著新材料的不斷發(fā)展，力敏傳感器進(jìn)一步發(fā)展成基于壓電材料、磁致伸縮材料等材料。以上的力敏傳感器都是基于材料本身的物理性質(zhì)在力的作用下發(fā)生變化進(jìn)而對(duì)力進(jìn)行探測(cè)，其靈敏度取決于材料本身的物理性質(zhì)。

(三)發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種微力探測(cè)器，其利用光學(xué)的方法來(lái)探測(cè)微力，通過(guò)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，依靠杠桿原來(lái)進(jìn)行探測(cè)的放大，可以實(shí)現(xiàn)微力的探測(cè)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案為，一種微力探測(cè)器，包括固定端、柔性支撐桿、力探測(cè)端、激光光源、檢測(cè)端，其中，柔性支撐桿的一端固定于固定端，另一端與力探測(cè)端相連接；柔性支撐桿表面鍍有反射光的平滑材料；激光光源、檢測(cè)端為于柔性支撐桿的正上方，且激光光源與檢測(cè)端關(guān)于柔性支撐桿的發(fā)現(xiàn)對(duì)稱分布。

本實(shí)用新型的有益效果是：采用光學(xué)的方法來(lái)探測(cè)微力，干擾小，根據(jù)微力的大小，可以調(diào)節(jié)杠桿的放大量，通過(guò)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化力的檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度的微力探測(cè)。

(四)附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、固定端，2、柔性支撐桿，3、力探測(cè)端，4、激光光源，5、檢測(cè)端

(五)具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，固定端1、柔性支撐桿2、力探測(cè)端3、激光光源4、檢測(cè)端5，其中，柔性支撐桿2的一端固定于固定端1，另一端與力探測(cè)端3相連接；柔性支撐桿2表面鍍有反射光的平滑材料；激光光源4、檢測(cè)端5為于柔性支撐桿2的正上方，且激光光源4與檢測(cè)端5關(guān)于柔性支撐桿的發(fā)現(xiàn)對(duì)稱分布。當(dāng)微力作用于力探測(cè)端3時(shí)，柔性支撐桿2發(fā)生彎曲，激光光源射出的光線發(fā)生偏轉(zhuǎn)，檢測(cè)端檢測(cè)到這一變化。本實(shí)用新型采用光學(xué)的方法來(lái)探測(cè)微力，干擾小，根據(jù)微力的大小，可以調(diào)節(jié)杠桿的放大量，通過(guò)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化力的檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度的微力探測(cè)。

以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。