[實用新型]光纖微傳感表面形貌和粗糙度測量裝置

有效

• 申請號: 201220061119.6
• 申請日: 2012-02-24
• 公開（公告）號: CN202533048U
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 蔣奇;張帥帥;楊猛;盧麗勝
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/30
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 王吉勇

1.一種光纖微傳感表面形貌和粗糙度測量裝置，其特征是，包括一立柱，所述立柱上套有一個水平設置的能夠上下移動的工作臺，所述工作臺上設有若干孔，每個孔中均設有一個能上下微調的伸出桿及彈性細觸針，所述彈性細觸針設置于伸出桿的下端，所述彈性細觸針表面上刻槽敷設有光纖布拉格光柵，光纖布拉格光柵通過光纖與光纖光柵解調器相連，光纖光柵解調器通過線路與數據處理裝置相連。

2.如權利要求1所述的光纖微傳感表面形貌和粗糙度測量裝置，其特征是，所述立柱上套有精密滾軸絲杠，工作臺通過螺絲套在精密滾珠絲杠上。

3.如權利要求1所述的光纖微傳感表面形貌和粗糙度測量裝置，其特征是，所述伸出桿通過微調機構設置于工作臺的孔中。

4.如權利要求3所述的光纖微傳感表面形貌和粗糙度測量裝置，其特征是，所述伸出桿下端焊接彈性細觸針。

5.如權利要求1所述的光纖微傳感表面形貌和粗糙度測量裝置，其特征是，所述工作臺下面是放置工件的移動導軌工作臺。