[實用新型]鏈式清洗機的拋光腐蝕滾輪有效
| 申請號： | 201220060019.1 | 申請日： | 2012-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN202491169U | 公開（公告）日： | 2012-10-17 |
| 發明（設計）人： | 楊延德;祁宏山;楊文侃;葉權華 | 申請（專利權）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/34 | 分類號： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鏈式 清洗 拋光 腐蝕 滾輪 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種鏈式清洗機的拋光腐蝕滾輪。
背景技術
KR20100110422公開了一種通過滾輪上的凹槽帶動刻蝕液對硅片底面刻蝕但是該種滾輪用于硅片拋光腐蝕工藝時，存在藥液流動性不足，背面刻蝕的均勻性不好的缺陷。
實用新型內容
本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種鏈式清洗機的拋光腐蝕滾輪，改善藥液的流動性。
本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種鏈式清洗機的拋光腐蝕滾輪，包括滾軸和中空的滾桶，滾桶通過筋板固定支撐在滾軸上，在滾桶的表面具有凹槽，凹槽內具有與滾桶內腔相通的毛細孔。
凹槽為梯型，其尺寸參數為上邊0.5-0.7mm，下邊0.05-0.15mm，高為0.30-0.40mm，毛細孔的尺寸參數為直徑0.05-0.15mm。
本實用新型的有益效果是：增加了刻蝕藥液的流動性，使刻蝕的背面更光滑。
附圖說明
下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型的結構示意圖；
圖中，1.滾軸，2.滾桶，3.凹槽，4.筋板，5.毛細孔。
具體實施方式
如圖1所示，一種鏈式清洗機的拋光腐蝕滾輪，包括滾軸1和中空的滾桶2，滾桶2通過筋板4固定支撐在滾軸1上，在滾桶2的表面具有凹槽3，凹槽3內具有與滾桶2內腔相通的毛細孔5。
凹槽3為梯型，其尺寸參數為上邊0.6mm，下邊0.1mm，高為0.36mm，毛細孔5的尺寸參數為直徑0.1mm。
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