[實用新型]一種單晶爐整體

有效

• 申請號: 201220055688.X
• 申請日: 2012-02-21
• 公開（公告）號: CN202576639U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 黃永明;王建文;陳永華
• 申請（專利權）人: 浙江百隆機械有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種單晶爐整體。?

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。在人工晶體行業里廣泛用到。一般硅單晶體制造方法如下：把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝，通過石墨加熱器產生的高溫將其熔化；然后，對熔化的硅液稍做降溫，使之產生一定的過冷度，再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體插入熔體表面，待籽晶與熔體熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶體便會在籽晶下端生長；接著，控制籽晶生長出一段長為100m?m左右、直徑為3～5mm的細頸，用于消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產生的原子排列的位錯，接著，突然提高拉速進行轉肩操作，使肩部近似直角；然后，進入等徑工藝，通過控制熱場溫度和晶體提升速度，生長出一定直徑規格大小的單晶柱體；最后，待大部分硅溶液都已經完成結晶時，再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體，進行一定的保溫冷卻后就可以取出，但是在現有技術中，使用傳統的爐子上不具有冷卻系統，而爐子在制造過程中爐體溫度比較高，損耗大，使用壽命短，碰到容易燙傷，存在安全隱患，而電機、驅動裝置等許多部件都是老型號的部件，比較耗能，增加了成本，傳統爐體長時間使用后，可能會泄漏，造成損失。?

發明內容

為解決上述問題，本實用新型的目的是提供一種安全節能、使用壽命長的單晶爐整體。?

????為實現上述目的，本實用新型的技術方案為：?

一種單晶爐整體，包括機架、爐底盤、下爐膛、上爐膛、爐蓋、上爐體、水平調整支架、籽晶提升裝置，所述的機架內設有空腔，空腔內安裝有坩堝提升裝置，機架上擺放有爐底盤，下爐膛和上爐膛連接在一起，擺放在爐底盤上，爐蓋蓋在上爐膛頂部，爐蓋通過隔離閥腔連接上爐體，上爐體側面通過提升架連接雙立柱，上爐體上端設有延長筒，延長筒上方為水平調整支架，水平調整支架通過轉軸連接籽晶提升裝置。

所述的雙立柱由主立柱焊接連接輔立柱構成。?

所述的水平調整支架由底法蘭、支撐桿、調節螺母、上法蘭組成，上下法蘭通過支撐桿連接支撐，支撐桿通過調節螺母調節高度。?

所述的籽晶提升裝置由鏈條、支撐板、絲桿螺母、限位擋片、絲桿組成，繞繩輪和主動鏈輪都套在電機的轉軸上，從動鏈輪安裝在滾動絲桿的一端，主動鏈輪與從動鏈輪通過鏈條連接在一起，通過螺絲固定有限位擋片的滑塊套在絲桿螺母上，滾動絲桿穿過絲桿螺母兩頭架在支撐塊內固定，滾動絲桿上方設有圓導軌，支撐塊兩端頂上通過螺釘固定有行程開關頂板。?

所述的下爐膛、上爐膛、爐蓋和上爐體都由內罩、外罩組成，內外罩之間形成冷卻層。?

所述的爐蓋上設有觀察窗。?

本發明的下爐膛、上爐膛、爐蓋和上爐體都由內罩、外罩組成，內外罩之間形成冷卻層，冷卻層內時刻流通冷水，降低爐體表面的問題，減少了設備的損耗程度，也提高了安全性，延長設備的使用壽命，此單晶爐的籽晶旋轉及提拉密封均采用高品質的磁流體密封組件，無泄漏，長期使用不需充磁。本實用新型安全節能、使用壽命長、提高生產效率、降低生產成本，增加企業效益。?

附圖說明

????圖1為本實用新型的結構示意圖。?

????圖2為圖1的俯視圖。?????????????

具體實施方式

如圖1、2所示，一種單晶爐整體，包括機架1、爐底盤2、下爐膛3、上爐膛4、爐蓋5、上爐體7、水平調整支架9、籽晶提升裝置10，所述的機架1內設有空腔，空腔內安裝有坩堝提升裝置12，機架1上擺放有爐底盤2，下爐膛3和上爐膛4連接在一起，擺放在爐底盤2上，爐蓋5蓋在上爐膛4頂部，爐蓋5通過隔離閥腔6連接上爐體7，上爐體7側面通過提升架連接雙立柱11，上爐體1上端設有延長筒8，延長筒8上方為水平調整支架9，水平調整支架9通過轉軸連接籽晶提升裝置。所述的雙立柱11由主立柱焊接連接輔立柱構成。所述的水平調整支架9由底法蘭、支撐桿、調節螺母、上法蘭組成，上下法蘭通過支撐桿連接支撐，支撐桿通過調節螺母調節高度。所述的籽晶提升裝置10由鏈條、支撐板、絲桿螺母、限位擋片、絲桿組成，繞繩輪和主動鏈輪都套在電機的轉軸上，從動鏈輪安裝在滾動絲桿的一端，主動鏈輪與從動鏈輪通過鏈條連接在一起，通過螺絲固定有限位擋片的滑塊套在絲桿螺母上，滾動絲桿穿過絲桿螺母兩頭架在支撐塊內固定，滾動絲桿上方設有圓導軌，支撐塊兩端頂上通過螺釘固定有行程開關頂板。所述的下爐膛3、上爐膛4、爐蓋5和上爐體7都由內罩、外罩組成，內外罩之間形成冷卻層。所述的爐蓋5上設有觀察窗。本發明的下爐膛、上爐膛、爐蓋和上爐體都由內罩、外罩組成，內外罩之間形成冷卻層，冷卻層內時刻流通冷水，降低爐體表面的問題，減少了設備的損耗程度，也提高了安全性，延長設備的使用壽命，此單晶爐的籽晶旋轉及提拉密封均采用高品質的磁流體密封組件，無泄漏，長期使用不需充磁。本實用新型安全節能、使用壽命長、提高生產效率、降低生產成本，增加企業效益。?