[實用新型]多晶硅鑄錠爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220047145.3
• 申請日: 2012-02-14
• 公開（公告）號: CN202658268U
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發(fā)明（設計）人: 楊細全;胡亞蘭;周之燕
• 申請（專利權）人: 江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

1.一種多晶硅鑄錠爐，其包括爐體、由爐體圍設形成的爐室、置于所述爐室內并用于放置坩堝的熱交換臺、向所述坩堝內充氣的充氣管及分別對所述坩堝進行加熱的頂部加熱器和側部加熱器，所述頂部加熱器設置于所述坩堝的上側，所述側部加熱器設置于所述坩堝的側邊，其特征在于：所述多晶硅鑄錠爐還包括設置于所述頂部加熱器與所述坩堝之間的熱屏。

2.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述熱屏在水平方向上的面積大于頂部加熱器在水平方向的面積。

3.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述熱屏上開設有氣流孔。

4.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述熱屏的側部上開設有讓位側部加熱器的凹槽。

5.如權利要求1至4中任一項所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：進一步包括設置于所述坩堝外側的護板、支撐所述熱交換臺的支柱、懸吊所述頂部加熱器和所述側部加熱器的電極、活動連接于所述爐體的提升連桿、懸吊于所述提升連桿上的隔熱籠及設置于所述爐體上的抽氣口；所述熱交換臺、坩堝、頂部加熱器、側部加熱器和熱屏均設置于所述隔熱籠內，所述充氣管連通隔熱籠內外。

6.如權利要求5所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述隔熱籠包括位于坩堝上側的頂隔熱板、位于坩堝下側的下隔熱板及位于坩堝四周的側隔熱板。

7.如權利要求6所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述熱屏固定地或可活動地設置于所述頂隔熱板上。

8.如權利要求5所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：進一步包括懸吊熱屏于所述隔熱籠上的吊桿，所述吊桿的材料為碳/碳復合材料或石墨材料。

9.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：進一步包括設置于坩堝底部的底部加熱器。?