[實(shí)用新型]圖像傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220044368.4
• 申請(qǐng)日: 2012-02-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202749374U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-02-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙立新;霍介光;李杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 格科微電子(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/146
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 鄭立柱

1.一種圖像傳感器，其特征在于，包括：

襯底，所述襯底的第一側(cè)形成有金屬互連層；

第一類(lèi)型摻雜區(qū)，其位于所述襯底中；

第二類(lèi)型摻雜區(qū)，其位于所述襯底中，并與所述第一類(lèi)型摻雜區(qū)相鄰以形成光電二極管；

電極層，其位于所述襯底的第二側(cè)，其中所述電極層是可透光的；

絕緣層，其位于所述電極層與所述襯底之間；

其中，所述電極層與所述襯底之間具有預(yù)定電勢(shì)差，以使得所述襯底的第二側(cè)的表面形成第二類(lèi)型導(dǎo)電層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，所述第一類(lèi)型摻雜區(qū)從所述襯底的第二側(cè)露出，所述預(yù)定電勢(shì)差使得所述第一類(lèi)型摻雜區(qū)表面反型為所述第二類(lèi)型導(dǎo)電層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，所述第二類(lèi)型摻雜區(qū)從所述襯底的第二側(cè)露出并覆蓋所述第一類(lèi)型摻雜區(qū)，所述預(yù)定電勢(shì)差使得所述第二類(lèi)型摻雜區(qū)表面的多數(shù)載流子的濃度提高。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，所述電極層包括一個(gè)或多個(gè)通孔，其位于所述光電二極管上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖像傳感器，其特征在于，所述一個(gè)或多個(gè)通孔的面積超過(guò)所述光電二極管面積的10％。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖像傳感器，其特征在于，所述通孔的形狀是六邊形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，所述電極層的厚度不超過(guò)2000埃。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，還包括：

電極互連層，其位于所述電極層上，用于將所述電極層電引出。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像傳感器，其特征在于，所述電極?互連層位于所述光電二極管的邊緣。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像傳感器，其特征在于，所述電極互連層的厚度為400埃至5000埃。?