[實(shí)用新型]一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220038233.7
• 申請(qǐng)日: 2012-02-07
• 公開（公告）號(hào): CN202576653U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃永明;王建文;陳永華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江百隆機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): C30B35/00
• 分類號(hào): C30B35/00;C30B29/06;G01G19/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種稱重裝置，特別是一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置。

背景技術(shù)

單晶硅爐主要用于生產(chǎn)硅半導(dǎo)體材料，對(duì)生長的硅晶體要求實(shí)時(shí)監(jiān)控其重量，是控制硅晶體合格率的有效保證，但傳統(tǒng)的監(jiān)控硅晶體重量的方法是單晶硅爐外用目測(cè)方式通過測(cè)量其直徑進(jìn)行推算，十分不準(zhǔn)確，不能達(dá)到實(shí)時(shí)監(jiān)控其重量的要求，從而生產(chǎn)出來的硅晶體質(zhì)量很差，現(xiàn)有的稱重裝置結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，占用空間又非常大，生產(chǎn)效率也低。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、占用空間小、夠?qū)崟r(shí)測(cè)量掌握單晶晶棒重量的單晶實(shí)時(shí)稱重裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：

一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置，包括籽晶繩、滑輪、稱重傳感器，所述的稱重傳感器用螺釘固定在腔體上臂，滑輪與稱重傳感器通過連接螺釘連接在一起，滑輪一端懸掛有籽晶繩。

作為優(yōu)選，滑輪可通過連接螺釘拉動(dòng)稱重傳感器。

本實(shí)用新型通過連接螺釘將滑輪與稱重傳感器連接在一起，當(dāng)籽晶繩上的晶棒使滑輪受力后通過連接螺釘拉動(dòng)稱重傳感器，使稱重傳感器產(chǎn)生讀數(shù)，結(jié)構(gòu)簡單，緊湊，實(shí)時(shí)讀數(shù)。

附圖說明

????圖1為本實(shí)用新型的剖視圖。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置，包括籽晶繩1、滑輪2、稱重傳感器3，所述的稱重傳感器3用螺釘6固定在腔體5上臂，滑輪2與稱重傳感器3通過連接螺釘3連接在一起，滑輪2一端懸掛有籽晶繩1。滑輪2可通過連接螺釘3拉動(dòng)稱重傳感器4。本實(shí)用新型通過連接螺釘將滑輪與稱重傳感器連接在一起，當(dāng)籽晶繩上的晶棒使滑輪受力后通過連接螺釘拉動(dòng)稱重傳感器，使稱重傳感器產(chǎn)生讀數(shù)，結(jié)構(gòu)簡單，緊湊，實(shí)時(shí)讀數(shù)。