[實用新型]超純氫輸送管路系統

有效

• 申請號: 201220038009.8
• 申請日: 2012-02-07
• 公開（公告）號: CN202442108U
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 陳軍;周旻
• 申請（專利權）人: 南京特種氣體廠有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D5/00
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

技術領域

本實用新型涉及工業氣體加工領域，具體是一種超純氫氣輸送管路系統。

背景技術

在超大規模集成電路制造過程中，需用純度為99.9995%-99.99995%的超純氫作為配制某些混合氣的底氣。隨著微電子工業的發展，超大規模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露點要求也更為嚴格，需要達到ppb、ppt級，因此對超純氣體的輸送管路系統提出了非常高的要求。現有的超純氣體輸送管路大都采用低碳不銹鋼制作，不銹鋼材加工完畢，不僅其表面粘有各種污染物，而且在其金屬晶格內也吸留有一定量的氣體，當管路中有氣流通過時，金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中，污染純凈氣體。當管內氣流為不連續流動時，管材內流通氣體時，管材對所通過的氣體形成的壓力下吸附，氣流停止通過時，管材所吸附的氣體又形成降壓解析，而解析的氣體同樣作為雜質進入管內純凈氣體中。同時，吸附、解析周而復始，使得管材內表面金屬也會產生一定的粉末，這種金屬粉塵粒子同樣污染管內純凈的氣體，在氣體管道的彎管內，會檢測到大量多于直管的顆粒。為了確保輸送的氣體的純凈度，不僅要求管材內表面有一個極高的光滑度，而且應當具有很高的耐磨特性，并且管道的設計要盡量減少吹掃不到的死角，但僅滿足上述這幾點還不能徹底地解決超純氣體在輸送管路中被污染的問題。

發明內容

本實用新型的技術目的是解決現有技術中存在的問題，提供一種過濾效果更好、污染度低的超純氫氣輸送管路系統。

本實用新型的技術方案是：

一種超純氫輸送管路系統，包括不銹鋼的氣體管道，其特征在于，

所述氣體管道在與氣源連接的始端設有預過濾器，在與用氣設備連接的終端設置有終端過濾器；所述氣體管道上設置的與氣體接觸的附件為與所述氣體管道相同不銹鋼材料的附件。

預過濾器的設置不僅能夠有效降低終端過濾器的負荷，還減少了超純氫本身含有的雜質在管道內沉積的幾率，并且在氣體不連續提供時，氣體內的雜質離子容易受沖力影響而穿出過濾器，終端過濾器就進一步阻止了從預過濾器中逸出的離子，避免其進入氣體使用設備。

進一步的技術方案還包括：

大流量的超純、超潔凈度氣體輸送管道的連接，現有技術大都采用焊接，這就要求采用的管材材料在施焊時組織不發生變化，而含碳過高的材料在焊接時，受焊接部位的透氣會使得管內外氣體相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，因此所述氣體管道及其附件優選為超低碳不銹鋼材料制造。

所述附件包括管道閥門及密封材料。

所述管道閥門優選為波紋管閥或隔膜閥。

本實用新型結構簡單，易于制作，成本低，氣體雜質過濾效果好，適宜在超純工業氣體的生產和應用中推廣使用。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

為了闡明本實用新型的技術方案及技術目的，下面結合附圖及具體實施方式對本實用新型做進一步的介紹。

如圖所示，一種超純氫氣輸送管路系統，包括不銹鋼的氣體管道1，所述氣體管道1在與氣源連接的始端設有預過濾器2，在與用氣設備連接的終端設置有終端過濾器3，所述終端過濾器3過濾精度大于所述預過濾器2，所述預過濾器2和終端過濾器3可選用超細纖維材料的濾料。所述氣體管1上設置的與氣體接觸的附件為與所述氣體管道1同樣的超低碳不銹鋼材料，所述附件包括管道閥門4、密封材料等，如普通密封材料大都采用塑料，而塑料容易被氣體透過，并且閥門的頻繁動作也會不可避免地使密封面產生一些粒子雜質，而采用不銹鋼材料的密封件能較好地克服這個問題。所述管道閥門4可選為為波紋管閥或隔膜閥。

以上已以較佳實施例公開了本實用新型，然其并非用以限制本實用新型，凡采用等同替換或者等效變換方式所獲得的技術方案，均落在本實用新型的保護范圍之內。