[實用新型]蒸鍍用溝槽掩模板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220015890.X
• 申請日: 2012-01-16
• 公開（公告）號: CN202576545U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 魏志凌;高小平;鄭慶靚
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種蒸鍍用溝槽掩模板，形狀為四邊形金屬板，其特征在于，包括ITO面和蒸鍍面兩個面，所述掩模板上具有貫通ITO面和蒸鍍面的開口，在ITO面上的開口為網(wǎng)格狀，在蒸鍍面上的開口為溝槽狀，所述槽狀開口之間相互間隔且相互平行；?ITO面上的開口面積小于在蒸鍍面上的開口面積。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用溝槽掩模板，其特征在于所述蒸鍍面上的槽狀開口橫向通過若干個實橋，將開口連接起來；所述掩模板為矩形，厚度為5～200μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍用溝槽掩模板，其特征在于所述ITO面通過橫向和縱向?qū)崢驅(qū)㈤_口在ITO面等距間隔開來；貫通的網(wǎng)格狀開口和溝槽狀開口的中心重合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用溝槽掩模板，其特征在于溝槽ITO面和蒸鍍面的槽狀開口具有倒錐角，ITO面開口的倒錐角角度小于蒸鍍面的槽狀開口的倒錐角的角度；蒸鍍面溝槽開口的錐角在30～50°。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍用溝槽掩模板，其特征在于所述的ITO面的橫向尺寸精度控制在±5μm；ITO面的倒錐角開口的垂直深度在5～25μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍用溝槽掩模板，其特征在于ITO面的倒錐角開口的垂直厚度小于等于蒸鍍面錐角開口的垂直厚度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用溝槽掩模板，其特征在于掩模板材料為不銹鋼、純鎳、鎳鈷合金、鎳鐵合金、因瓦合金中的任意一種金屬板；掩模板厚度為10～50μm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用溝槽掩模板，其特征在于蒸鍍面大尺寸溝槽狀開口側(cè)壁為光滑錐壁。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍用溝槽掩模版，其特征在于ITO面小尺寸網(wǎng)格狀開口側(cè)壁為光滑倒錐壁，錐度為0-8°。