[實用新型]一種利用拋物面反射鏡測量透射式光柵衍射效率的裝置

有效

• 申請號: 201220011532.1
• 申請日: 2012-01-04
• 公開（公告）號: CN202433172U
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 趙建林;張顏艷;邸江磊;姜宏振;吳冰靜;陳鑫;王駿
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 王鮮凱

1.一種利用拋物面反射鏡測量透射式光柵衍射效率的裝置，其特征在于包括激光器(1)、光束分束器(2)、擴束準直鏡(10)，橢球反射鏡(6)、第二光功率探測器(7)和第一光功率探測器(8)；在激光器(1)的激光光路上設置光束分束器(2)，光束分束器(2)將激光器(1)發出的光束分為光強比為1∶1的第一光束和第二光束；在第二光束的光路中設置第二光功率探測器(7)測得第二光束的光強；在第一光束的光路中設置擴束準直鏡(10)，將其準直為直徑小于1mm的平行光束，被測透射式光柵(5)設置在準直光束的光路上，拋物面反射鏡(6)設置在被測透射式光柵衍射光束的光路上；其中準直平行光束在被測透射式光柵上的入射點為拋物面反射鏡的焦點，在拋物面反射鏡的反射光路上，與光軸垂直方向設置一凸透鏡(9)，在凸透鏡(9)后焦平面焦點位置設置第一光功率探測器(8)，測量拋物面反射鏡的反射光強度；用第一光功率探測器(8)測量得到的光強數值除以第二光功率探測器(7)測量得到的光強的兩倍，得到被測光柵的衍射效率。

2.根據權利要求1所述的利用拋物面反射鏡測量透射式光柵衍射效率的裝置，其特征在于：將被測透射式光柵(5)置于旋轉臺(3)上，第一光功率探測器(8)置于凸透鏡(9)后焦平面焦點位置，調整擴束準直鏡(10)后的平行光束照射到被測透射式光柵(5)上，轉動旋轉臺(3)使得被測透射式光柵(5)上平行光束的入射角從0°到-80°或者0°到80°之間改變，改變量步進值小于2°，使用第一光功率探測器(8)在入射角從0°到-80°或者0°到80°之間改變時測得拋物面反射鏡上第二光束的反射光強度；在每次變化中用第一光功率探測器(8)測量得到的光強數值除以第二光功率探測器(7)測量得到的光強的兩倍，得到變化的被測透射式光柵的系列衍射效率。