[實用新型]一種可準確定位的繃網裝置

有效

• 申請號: 201220010205.4
• 申請日: 2012-01-11
• 公開（公告）號: CN202434582U
• 公開（公告）日: 2012-09-12
• 發明（設計）人: 魏志凌;高小平;張煒平
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;C23C14/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種可準確定位的繃網裝置，其特征在于，所述繃網裝置將掩模板繃緊固定在網框上；繃網裝置包括：

繃拉機構，用以將掩膜板繃緊固定在一個平面上；

網框固定機構，用以調節網框的位置或/和角度，將網框固定在平面上的設定位置，且使得被固定的網框的上表面緊貼金屬掩膜板的下表面。

2.如權利要求1所述的可準確定位的繃網裝置，其特征在于，所述網框固定機構包括位置調節機構，用以調節網框在平面上的位置，將網框移動至掩模板下的設定區域。

3.如權利要求2所述的可準確定位的繃網裝置，其特征在于，所述位置調節機構將網框移動至掩模板中央區域的下方。

4.如權利要求1所述的可準確定位的繃網裝置，其特征在于，所述網框固定機構包括旋轉角度調節機構，用以調節網框的旋轉角度，使得網框所在平面平行于被固定的掩膜板所在平面。

5.如權利要求1至3之一所述的可準確定位的繃網裝置，其特征在于，所述網框固定機構包括頂起機構，垂直于被固定的掩膜板或網框所在平面，用以頂起網框，實現掩膜板的下表面與網框的緊貼效果。

6.如權利要求1所述的可準確定位的繃網裝置，其特征在于，所述繃拉機構包括控制系統及若干繃拉單元，各繃拉單元分布在網板的周邊，控制系統控制各繃拉單元的動作；

所述繃拉單元包括動力驅動機構、拉伸機構，所述動力驅動機構連接拉伸機構；所述拉伸機構設有與網板連接的連接機構，通過該連接機構與網板連接。

7.如權利要求6所述的可準確定位的繃網裝置，其特征在于，所述繃拉單元還包括彈性機構，所述動力驅動機構通過彈性機構連接拉伸機構。

8.如權利要求7所述的可準確定位的繃網裝置，其特征在于，所述繃拉單元還包括彈性形變獲取單元，用以感應所述彈性機構的彈性形變數據；所述彈性形變獲取單元與所述控制系統連接，所述控制系統根據所述彈性形變獲取單元感應的彈性形變數據，控制所述動力驅動機構提供的動力大小，進而控制動力驅動機構對拉伸機構的拉力。

9.如權利要求6所述的可準確定位的繃網裝置，其特征在于，所述繃拉單元還包括引導機構；在動力驅動機構的動力下，所述引導機構引導拉伸機構沿設定方向運動；所述引導機構包括一軌道機構；所述拉伸機構固定在該軌道機構上，彈性機構的彈性形變方向與軌道機構的設置方向一致；該軌道機構包括一導軌、與該導軌配合的導槽；導槽設置在拉伸機構下方，導軌設置在一基臺上；或者，導槽設置在基臺上，導軌設置在拉伸機構下方。