[發(fā)明專利]一種場發(fā)射陰極的處理方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210595717.6 | 申請日： | 2012-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN103077867A | 公開（公告）日： | 2013-05-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 紀(jì)成友;劉志龍 | 申請（專利權(quán)）人： | 青島紅星化工廠 |
| 主分類號： | H01J9/02 | 分類號： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266000 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 發(fā)射 陰極 處理 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種InGaN納米線場發(fā)射陰極的制備方法，包括：
先通過CVD的方法在沉積了一層Au的Si襯底上生長InGaN樣品；
沉積Au薄層前，Si片先在甲苯、丙酮、乙醇中經(jīng)過超聲清洗，再用去離子水沖洗；
把盛有Si襯底和高純金屬Ga(99.999％)和In(99.999％)的鎢舟放入管式爐內(nèi)的石英管中，順著氣流的方向依次放金屬In、金屬Ga和Si襯底；
Si襯底放置在氣流的下端，和金屬Ga的距離為3mm；
隨后，用機械泵對石英管抽氣，當(dāng)石英管中的真空度達到2×10-1Torr時，把石英管的溫度升到某一固定值；
再通NH3(99.999％)和Ar(99.999％)的混合氣體，使?fàn)t內(nèi)的溫度保持在這一固定值，NH3氣和Ar氣的的流量固定在某一值，管子的氣壓維持在3.5Torr，生長30min；
自然冷卻到室溫。
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