[發(fā)明專利]薄膜形成裝置及薄膜形成方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210594007.1
• 申請(qǐng)日: 2012-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN103192602A
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡本裕司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B41J2/01
• 分類號(hào): B41J2/01;B41J3/407
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在對(duì)象物上吐出液狀材料來形成薄膜的裝置及形成薄膜的方法。

背景技術(shù)

對(duì)于以往的在印刷配線板上形成阻焊抗蝕劑的圖案的方法進(jìn)行說明。首先，在表面形成有電路圖案的印刷配線板的整個(gè)面涂敷感光性阻焊抗蝕劑。使用預(yù)定的掩模圖案將阻焊抗蝕劑膜曝光之后通過顯像來形成阻焊抗蝕劑的圖案。

通常，在阻焊抗蝕劑層上印刷有用于識(shí)別基板的識(shí)別信息。周知有在曝光阻焊抗蝕劑層之前，通過噴墨印刷機(jī)印刷識(shí)別信息的方法。印字后，通過將阻焊抗蝕劑層曝光及顯像能夠形成耐清洗的印字圖案。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006-147614號(hào)公報(bào)

以往的方法中，通過阻焊抗蝕劑層的涂敷、印字、曝光及顯像的工序，制造印刷有識(shí)別信息的基板。要求縮減用于印字的工序數(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)觀點(diǎn)，提供一種薄膜形成裝置，該薄膜形成裝置具有：

載物臺(tái)，保持對(duì)象物；

第1噴頭，與所述對(duì)象物對(duì)置且形成有吐出第1色液狀材料的多個(gè)噴嘴孔；

第2噴頭，與所述對(duì)象物對(duì)置且形成有吐出與第1色不同的第2色液狀材料的多個(gè)噴嘴孔；

移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述載物臺(tái)相對(duì)于所述第1噴頭及所述第2噴頭在所述對(duì)象物的面內(nèi)方向移動(dòng)，或使所述第1噴頭及所述第2噴頭相對(duì)于所述載物臺(tái)在所述對(duì)象物的面內(nèi)方向移動(dòng)；及

控制裝置，控制所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第1噴頭及所述第2噴頭，

所述控制裝置控制所述第1噴頭及所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在所述對(duì)象物上以所述第1色液狀材料形成第1薄膜，且控制所述第2噴頭及所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在所述對(duì)象物上以所述第2色液狀材料形成第2薄膜。

根據(jù)本發(fā)明的另一觀點(diǎn)，提供一種薄膜形成方法，其包括：

根據(jù)應(yīng)形成的薄膜圖案的圖像數(shù)據(jù)，從多個(gè)第1噴嘴孔向?qū)ο笪锏谋砻嫱鲁龅?色液狀材料來形成第1色的第1薄膜的工序；及

根據(jù)應(yīng)形成的記號(hào)圖案的圖像數(shù)據(jù)，從多個(gè)第2噴嘴孔向所述對(duì)象物的表面吐出與所述第1色不同的第2色液狀材料來形成第2色的第2薄膜的工序。

發(fā)明效果

使用第1噴頭及第2噴頭，能夠通過1次掃描涂敷2色的液狀材料。若以其中一個(gè)顏色的液狀材料表示文字或記號(hào)等，則無需實(shí)施用于印字的獨(dú)立的工序就能夠進(jìn)行印字。并且，能夠通過以2色區(qū)分涂敷來提高設(shè)計(jì)效果。

附圖說明

圖1是基于實(shí)施例1的薄膜形成裝置的概要側(cè)視圖。

圖2A是形成薄膜的對(duì)象物和應(yīng)形成的薄膜的俯視圖，圖2B是將其一部分放大的俯視圖。

圖3A是噴嘴單元的立體圖，圖3B是噴嘴單元的仰視圖。

圖4是表示形成第1薄膜的液狀材料與形成第2薄膜的液狀材料的著落點(diǎn)的位置的圖。

圖5A～圖5C是以基于實(shí)施例1的方法形成的薄膜的截面圖。

圖6是視覺性地表示以基于實(shí)施例1的方法形成薄膜時(shí)所利用的圖像數(shù)據(jù)的圖。

圖7是以基于實(shí)施例2的方法形成的薄膜的截面圖。

圖中：20-平臺(tái)，21-移動(dòng)機(jī)構(gòu)，22-支柱，23-梁，25-載物臺(tái)，30-對(duì)象物（印刷基板），31-對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志，32-第1薄膜，33-第2薄膜，40-噴嘴單元，41-支承部件，42-噴頭，42G-第1色用噴頭，42W-第2色用噴頭，43-紫外光源，45-噴嘴孔，50-攝像裝置，60-控制裝置，61-存儲(chǔ)裝置，70-第1薄膜的著落點(diǎn)，71-第2薄膜的著落點(diǎn)，80-定義以薄膜覆蓋的區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)，81-第2薄膜的圖像數(shù)據(jù)，82-第1薄膜的圖像數(shù)據(jù)。

具體實(shí)施方式

[實(shí)施例1]

圖1中示出基于實(shí)施例1的薄膜形成裝置的概要側(cè)視圖。在平臺(tái)20上通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)21保持載物臺(tái)25。在載物臺(tái)25上保持有形成薄膜的對(duì)象物30，例如印刷基板。移動(dòng)機(jī)構(gòu)21使載物臺(tái)25向與其保持面平行的2個(gè)方向移動(dòng)，并且能夠?qū)⒋怪庇诒３置娴妮S作為旋轉(zhuǎn)中心而使其旋轉(zhuǎn)。載物臺(tái)25例如通過真空卡盤固定對(duì)象物30。

載物臺(tái)25的上方配置有噴嘴單元40及攝像裝置50。噴嘴單元40及攝像裝置50通過支柱22及梁23支承于平臺(tái)20。噴嘴單元40具有多個(gè)噴嘴孔，從噴嘴孔朝向?qū)ο笪?5吐出液狀材料的液滴，例如阻焊抗蝕劑的液滴。攝像裝置50拍攝在對(duì)象物30的表面形成的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志、配線圖案等。