[發(fā)明專(zhuān)利]陣列基板及其制造方法、顯示裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210593034.7
• 申請(qǐng)日: 2012-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103021945A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廖燕平;董杰;郝昭慧;張振宇;邵喜斌
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/77
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種陣列基板的制造方法，其特征在于，包括：

在基板上沉積柵金屬層，形成由所述柵金屬層組成的柵掃描線(xiàn)和短路連接線(xiàn)，所述短路連接線(xiàn)與所述柵掃描線(xiàn)之間的連接為斷開(kāi)的；

在形成柵絕緣層之后，在對(duì)應(yīng)所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)的位置形成過(guò)孔；

沉積導(dǎo)電層，所述導(dǎo)電層通過(guò)所述過(guò)孔連接所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述在基板上沉積柵金屬層之前還包括：

在基板沉積第一透明導(dǎo)電層，形成由所述第一透明導(dǎo)電層組成的用以連接所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)的連接結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述連接結(jié)構(gòu)呈方波形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述在形成柵絕緣層之后，在對(duì)應(yīng)所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)的位置形成過(guò)孔，沉積導(dǎo)電層，所述導(dǎo)電層通過(guò)所述過(guò)孔連接所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)包括：

在基板上沉積數(shù)據(jù)金屬層之前，在對(duì)應(yīng)所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)的位置形成過(guò)孔；

在形成有所述過(guò)孔的基板上沉積數(shù)據(jù)金屬層，所述數(shù)據(jù)金屬層通過(guò)所述過(guò)孔連接所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板的制造方法，其特征在于，所述在形成柵絕緣層之后，在對(duì)應(yīng)所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)的位置形成過(guò)孔，沉積導(dǎo)電層，所述導(dǎo)電層通過(guò)所述過(guò)孔連接所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)包括：

在基板上形成鈍化層之后，在對(duì)應(yīng)所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)的位置形成過(guò)孔；

在形成有所述過(guò)孔的基板上沉積第二透明導(dǎo)電層，所述第二透明導(dǎo)電層通過(guò)所述過(guò)孔連接所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)。

6.一種陣列基板，其特征在于，所述陣列基板包括：

由柵金屬層形成的柵掃描線(xiàn)和短路連接線(xiàn)，其中，對(duì)應(yīng)所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)的位置形成有過(guò)孔，所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)通過(guò)所述過(guò)孔上沉積的導(dǎo)電層連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列基板，其特征在于，所述陣列基板還包括由第一透明導(dǎo)電層組成的用以連接所述短路連接線(xiàn)和所述柵掃描線(xiàn)的連接結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的陣列基板，其特征在于，所述連接結(jié)構(gòu)呈方波形。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列基板，其特征在于，所述過(guò)孔貫穿陣列基板的柵絕緣層，所述導(dǎo)電層為用以形成源電極和漏電極的數(shù)據(jù)金屬層。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列基板，其特征在于，所述過(guò)孔貫穿陣列基板的柵絕緣層和鈍化層，所述導(dǎo)電層為用以形成像素電極的第二透明導(dǎo)電層。

11.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求6-10中任一項(xiàng)所述的陣列基板。