[發(fā)明專利]環(huán)拋階段磨削量在線監(jiān)測(cè)裝置及磨削量在線監(jiān)測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210591550.6
• 申請(qǐng)日: 2012-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN103144036A
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳磊;李金鵬;李博;何勇;王青;朱日宏;李建欣;烏蘭圖雅;鄭東暉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京理工大學(xué)
• 主分類號(hào): B24B49/12
• 分類號(hào): B24B49/12;G01B11/24
• 代理公司: 南京理工大學(xué)專利中心 32203
• 代理人: 朱顯國(guó)

1.一種環(huán)拋階段磨削量在線監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于：包括白光光源[1]、準(zhǔn)直鏡[2]、起偏器[3]、普通分光鏡[4]、寬光譜偏振分光棱鏡[5]、色散補(bǔ)償鏡[6]、參考反射鏡[7]，檢偏器[8]、CCD[9]和顯示屏[10]；光路結(jié)構(gòu)沿光路行進(jìn)方向依次是光源[1]、準(zhǔn)直鏡[2]、起偏器[3]、普通分光鏡[4]、寬光譜偏振分光棱鏡[5]，之后光束分為兩路：一路經(jīng)過色散補(bǔ)償鏡[6]、參考反射鏡[7]，為參考光；一路經(jīng)過工件，為測(cè)試光，這兩路光方向相互垂直；之后兩束光原路返回，在寬光譜分光棱鏡[5]出射合并回到普通分光鏡[4]；普通分光鏡[4]反射面所在平面與光路系統(tǒng)光軸成45°，從寬光譜偏振分光棱鏡[5]出射的合成光在普通分光鏡[4]反射面反射，之后一起從檢偏器[8]透射而出，最后入射到CCD[9]；CCD[9]與顯示屏[10]連接，輸出干涉條紋。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)拋階段磨削量在線監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于：色散補(bǔ)償器件[6]采用與待磨工件厚度相同且基底材料相同的標(biāo)準(zhǔn)工件。?

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)拋階段磨削量在線監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于：光源[1]為白光光源或單色光LED。?

4.一種實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)磨削量的方法，其特征在于，步驟如下：?

a)標(biāo)定磨削量在線監(jiān)測(cè)裝置；將磨削量在線裝置中的白光光源換成波長(zhǎng)已知的單色光LED，根據(jù)條紋間距以及顯示屏[10]上標(biāo)注的刻度尺上的讀數(shù)確定條紋偏移量以及光程變化量之間的比例系數(shù)C，由該比例系數(shù)確定刻度尺上讀出的白光條紋偏移量與實(shí)際磨削量的關(guān)系；?

b)實(shí)測(cè)磨削量：將磨削量在線裝置中的單色光LED換成白光光源，旋轉(zhuǎn)起偏器[3]調(diào)節(jié)測(cè)試光與參考光相對(duì)光強(qiáng)；環(huán)拋過程中監(jiān)測(cè)白光中心條紋偏移量，直至磨削量達(dá)到要求為止。?

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)磨削量的方法，其特征在于：白光條紋偏移量與實(shí)際磨削量關(guān)系?

δ=ΔL′/n_eC?

ΔL’為白光中心條紋偏移量，n_e為白光等效折射率，C為條紋偏移量與光程差變化量之間的比例系數(shù)。?

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)磨削量的方法，其特征在于：實(shí)時(shí)檢測(cè)磨削量的方法為：邊對(duì)工件進(jìn)行環(huán)拋，邊從顯示屏上檢測(cè)中心條紋的偏移。?