[發(fā)明專利]化學(xué)氣相沉積設(shè)備的控制系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210591240.4
• 申請(qǐng)日: 2012-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN103911602A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張義明;陳力兵;祝龍飛;房偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光達(dá)光電設(shè)備科技（嘉興）有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/52
• 分類號(hào): C23C16/52
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 楊林;馬翠平

1.一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備的控制系統(tǒng)，用于控制化學(xué)氣相沉積設(shè)備進(jìn)行沉積工藝，所述控制系統(tǒng)包括可編程控制器處理模塊及若干個(gè)可編程控制器控制模塊，其特征在于，所述若干個(gè)可編程控制器控制模塊和所述可編程控制器處理模塊通過多段網(wǎng)絡(luò)連接線串聯(lián)連接形成環(huán)形網(wǎng)絡(luò)，使得每個(gè)所述可編程控制器控制模塊通過雙向的網(wǎng)絡(luò)線路與所述可編程控制器處理模塊進(jìn)行通訊聯(lián)系。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述環(huán)形網(wǎng)絡(luò)中任意一個(gè)所述可編程控制器控制模塊一端連接的一段網(wǎng)絡(luò)連接線出現(xiàn)故障時(shí)，所述任意一個(gè)可編程控制器控制模塊通過所述任意一個(gè)可編程控制器控制模塊另一端連接的一段網(wǎng)絡(luò)連接線與所述可編程控制器處理模塊進(jìn)行通訊聯(lián)系。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)所述可編程控制器控制模塊包括一故障檢測(cè)模塊，所述故障檢測(cè)模塊用以檢測(cè)對(duì)應(yīng)的可編程控制器控制模塊兩端分別連接的一段網(wǎng)絡(luò)連接線是否斷開，當(dāng)所述故障檢測(cè)模塊檢測(cè)到一端的一段網(wǎng)絡(luò)連接線斷開時(shí)，所述對(duì)應(yīng)的可編程控制器控制模塊通過另一端的一段網(wǎng)絡(luò)連接線向所述可編程控制器處理模塊發(fā)送故障信號(hào)，所述可編程控制器處理模塊連接一報(bào)警單元，所述可編程控制器處理模塊接收到所述故障信號(hào)后使所述報(bào)警單元發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述可編程控制器處理模塊還連接一顯示裝置，當(dāng)所述故障檢測(cè)模塊檢測(cè)到所述對(duì)應(yīng)的可編程控制器控制模塊一端連接的一段網(wǎng)絡(luò)連接線斷開時(shí)，所述對(duì)應(yīng)的可編程控制器控制模塊記錄所述斷開的一段網(wǎng)絡(luò)連接線的位置，并形成相應(yīng)的位置信號(hào)；所述對(duì)應(yīng)的可編程控制器控制模塊通過另一端連接的一段網(wǎng)絡(luò)連接線向所述可編程控制器處理模塊發(fā)送位置信號(hào)，所述可編程控制器處理模塊接收到所述位置信號(hào)后使所述顯示裝置顯示所述斷開的一段網(wǎng)絡(luò)連接線的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述可編程控制器處理模塊還包括一故障檢測(cè)模塊，所述故障檢測(cè)模塊用于檢測(cè)所述可編程控制器處理模塊兩端分別連接的一段網(wǎng)絡(luò)連接線是否斷開，當(dāng)所述故障檢測(cè)模塊檢測(cè)到一端的一段網(wǎng)絡(luò)連接線斷開時(shí)，所述故障檢測(cè)模塊發(fā)送故障信號(hào)，所述可編程控制器處理模塊連接一報(bào)警單元，所述可編程控制器處理模塊接收到所述故障信號(hào)后使所述報(bào)警單元發(fā)出報(bào)警信號(hào)。