[發明專利]一種真空泵粉塵沉積過濾裝置

無效

• 申請號: 201210591016.5
• 申請日: 2012-12-29
• 公開（公告）號: CN103047118A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 雷震霖;王光玉;劉在行
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
• 主分類號: F04B39/16
• 分類號: F04B39/16
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

1.一種真空泵粉塵沉積過濾裝置，其特征在于：包括冷卻腔(1)、導流機構(3)、及冷卻腔蓋板(6)，其中導流機構(3)的外側設有冷卻腔(1)，所述冷卻腔(1)的下端設有冷卻腔蓋板(6)，所述導流機構(3)容置于冷卻腔(1)和冷卻腔蓋板(6)所形成的內腔(12)內，所述冷卻腔(1)的上端設有與內腔(12)連通的進氣口(8)，所述冷卻腔蓋板(6)上設有出氣口(9)，氣體經過內腔(12)時通過導流機構(3)和冷卻腔(1)的腔體壁沉積粉塵。

2.按權利要求1所述的真空泵粉塵沉積過濾裝置，其特征在于：所述導流機構(3)包括圓筒和導流板，其中圓筒的上、下端分別設置于冷卻腔(1)的上端腔體和冷卻腔蓋板(6)上設有的定位止口內，所述導流板設置于圓筒的外表面上，氣體與導流板接觸后使粉塵沉積于導流板的表面。

3.按權利要求2所述的真空泵粉塵沉積過濾裝置，其特征在于：所述圓筒的上端與冷卻腔(1)的腔體之間設有彈簧(2)。

4.按權利要求2所述的真空泵粉塵沉積過濾裝置，其特征在于：所述圓筒的下端與出氣口(9)連通，所述圓筒下端側壁設有通孔，該通孔處設有過濾網(7)，所述內腔(12)內的氣體經過過濾網(7)過濾后由出氣口(9)排出。

5.按權利要求2所述的真空泵粉塵沉積過濾裝置，其特征在于：所述導流板為螺旋狀，氣體沿螺旋導流板前行。

6.按權利要求1所述的真空泵粉塵沉積過濾裝置，其特征在于：所述冷卻腔(1)與冷卻腔蓋板(6)之間設有O型氟膠圈密封。

7.按權利要求1所述的真空泵粉塵沉積過濾裝置，其特征在于：所述冷卻腔(1)的上部設有循環水入口(10)，下部設有設有循環水出口(11)。

8.按權利要求1所述的真空泵粉塵沉積過濾裝置，其特征在于：所述進氣口(8)與真空室連接，所述出氣口(9)與真空泵連接。