[發明專利]基于MEMS的二維壓阻式微力傳感器

有效

• 申請號: 201210589604.5
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN103033296A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 榮偉彬;周杰;李東潔;王樂鋒;張世忠
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 高媛

1.一種基于MEMS的二維壓阻式微力傳感器，其特征在于所述傳感器包括固定支架(1)、檢測直梁(2)、外伸梁(3)、錨點(7)、二個半折疊梁(4)、二個第一壓阻(5)和二個第二壓阻(6)，固定支架(1)為矩形框架且固定支架(1)的一對平行邊框中的一個上開有第二通孔(1-1)，檢測直梁(2)和二個半折疊梁(4)均設在固定支架(1)內，檢測直梁(2)的兩端與固定支架(1)固接且平行于開有第二通孔(1-1)的邊框，檢測直梁(2)側壁的兩端各設一個第一壓阻(5)，每個半折疊梁(4)由第一直梁(4-1)、第二直梁(4-2)和桁架(4-3)構成，第一直梁(4-1)的一端與桁架(4-3)的一端連接且二者垂直設置，桁架(4-3)的另一端與第二直梁(4-2)的一端連接且第一直梁(4-1)和第二直梁(4-2)平行設置，二個半折疊梁(4)沿外伸梁(3)的中心軸線對稱設置且第一直梁(4-1)的另一端與外伸梁(3)連接，第二直梁(4-2)的長度小于第一直梁(4-1)的長度，二個第二直梁(4-2)之間形成第一通孔(4-4)，第二直梁(4-2)的另一端通過相對應的錨點(7)與開有第二通孔(1-1)的邊框連接，外伸梁(3)的一端與檢測直梁(2)中部的側壁連接且二者垂直設置，外伸梁(3)的另一端作為自由端穿過第一直梁(4-1)、第一通孔(4-4)和第二通孔(1-1)設在固定支架(1)的外部，檢測直梁(2)、外伸梁(3)和二個半折疊梁(4)連接制成一體，外伸梁(3)沿其長度方向開有應力方孔(3-1)，應力方孔(3-1)的一端位于第一直梁(4-1)和外伸梁(3)連接處，應力方孔(3-1)的另一端靠近外伸梁(3)的自由端，外伸梁(3)上表面設有兩個第二壓阻(6)，每個第二壓阻(6)位于應力方孔(3-1)的孔壁與外伸梁(3)的外側壁之間，第二壓阻(6)的內側壁與應力方孔(3-1)的孔壁之間相距3-5微米。

2.根據權利要求1所述基于MEMS的二維壓阻式微力傳感器，其特征在于第二壓阻(6)的長度小于應力方孔(3-1)的長度。