[發(fā)明專利]玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210589053.2 | 申請日： | 2012-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN102992261A | 公開（公告）日： | 2013-03-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 尚金堂;鄒羽;吉宇 | 申請（專利權(quán)）人： | 東南大學(xué) |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200 | 代理人： | 張惠忠 |
| 地址： | 210096*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃 微結(jié)構(gòu) 加氫 正壓 成型 方法 | ||
1.一種玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于，包括以下步驟：
第一步，在襯底（1）上刻蝕形成微型凹槽（2）陣列；
第二步，將玻璃片（6）與上述襯底（1）粘結(jié)，使得微型凹槽（2）密封；
第三步，將上述粘結(jié)好的玻璃片（6）和襯底（1）放置在高壓氫氣中加熱，加熱溫度低于玻璃的軟化點(diǎn)溫度，并保溫，使氫氣滲透至微型凹槽（2）內(nèi)，直至微型凹槽（2）內(nèi)外壓力達(dá)到平衡；
第四步，將上述玻璃片（6）和襯底（1）在0-1大氣壓力的氛圍下加熱至玻璃軟化點(diǎn)溫度或以上并保溫，待密封的微型凹槽（2）內(nèi)壓縮氫氣膨脹產(chǎn)生正壓力使得密封腔體對應(yīng)的玻璃成型后，再冷卻到常溫，得到圓片級玻璃微腔（8）陣列。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于所述襯底材料為硅。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于所述第二步的粘結(jié)方法為在真空或一定壓力下陽極鍵合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于所述的第三步的高壓為1.5atm-200atm，加熱溫度為100℃-500℃，保溫時(shí)間為0.5-100小時(shí)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于所述的第三步的高壓為1.5atm-100atm，加熱溫度為100℃-300℃，保溫時(shí)間為5-30小時(shí)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于所述的第四步的加熱溫度為820℃-890℃，保溫時(shí)間為3-8分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于所述的第四步的冷卻到常溫中可加入退火步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于所述的退火工藝條件為：退火溫度范圍在510℃-560℃，退火保溫時(shí)間為30分鐘，然后自然冷卻至常溫。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于所述的玻璃片（6）為硼硅玻璃。
10.根據(jù)權(quán)利要求10所述的玻璃微結(jié)構(gòu)加氫正壓熱成型方法，其特征在于所述的玻璃片（6）為Pyrex7740玻璃。
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