[發明專利]圓片級玻璃微腔的批量制備方法有效
| 申請號： | 201210588915.X | 申請日： | 2012-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN103011065A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 尚金堂;吉宇;鄒羽 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人： | 張惠忠 |
| 地址： | 210096*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圓片級 玻璃 批量 制備 方法 | ||
1.一種圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
第一步，在硅圓片（1）上刻蝕形成微型硅凹槽（2）陣列；
第二步，在上述微型硅凹槽（2）內，加入碳酸氫鈣水溶液，再蒸發、加熱，獲得碳酸鈣(7)；
第三步，將玻璃圓片（6）與上述硅圓片（1）在真空或一定壓力下粘結，使得微型硅凹槽（2）密封；
第四步，將上述玻璃圓片和硅圓片加熱至玻璃軟化點溫度以上并保溫，待微型凹槽(2)中碳酸鈣（7）放出的氣體產生正壓力使得密封腔體對應的玻璃成型后，再冷卻到常溫，退火；
第五步，去除硅圓片（1），得到圓片級球形玻璃微腔（8）陣列。
2.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于玻璃圓片為硼硅玻璃圓片。
3.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于第二步中加熱溫度為40-400℃。
4.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于第二步中加熱溫度為300-400℃。
5.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于重復第二步所述步驟2-50次，直至碳酸鈣的量符合成型的數量要求。
6.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于：所述微型凹槽（2）陣列之間有微通道（4）相連。
7.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于采用點膠技術對微型凹槽（2）定量注入溶液。
8.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于，第三步所述的粘結方法為陽極鍵合，陽極鍵合條件為：電壓600V,溫度為400℃。
9.根據權利要求1或2所述的圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于，第四步中鍵合好的玻璃圓片和硅圓片的加熱溫度為820℃~890℃。
10.根據權利要求1所述的圓片級玻璃微腔的批量制備方法，其特征在于，所述碳酸氫鈣水溶液為飽和溶液。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于東南大學，未經東南大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210588915.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：鋁基軸承合金及其制備方法
- 下一篇：一種配電網開關觸頭測溫及預警方法
