[發(fā)明專利]多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210588896.0
• 申請日: 2012-12-31
• 公開（公告）號: CN103896270A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李子林;朱敏;孫惺惺;茅志權(quán);惠澤
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇雙良新能源裝備有限公司
• 主分類號: C01B33/021
• 分類號: C01B33/021
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及多晶硅領(lǐng)域，尤其是涉及多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)。屬多晶硅制備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接材料。高純度多晶硅是光電轉(zhuǎn)換電池、集成電路等半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)材料。隨著世界半導(dǎo)體工業(yè)的迅猛發(fā)展、超大規(guī)格集成電路的大量應(yīng)用、光伏電池的大量需求，整個世界對多晶硅的需求量在逐年增加。

而生產(chǎn)多晶硅的過程中，還原爐等設(shè)備的尾氣出口溫度高達(dá)1000℃左右，且具有高溫腐蝕性，為了把該溫度降低到可以使用，通過U型多晶硅高溫尾氣熱交換器來實現(xiàn)。通常都是在熱交換器的高溫腐蝕尾氣氣體的入口處焊接金屬防沖板，該結(jié)構(gòu)無法控制氣體的流速和分布，且運行一段時間后，金屬防沖板會被腐蝕爛掉，氣體就會直接沖擊換熱管束，會在換熱管表面產(chǎn)生無定型硅，從而影響換熱效果輕則停爐拆開換熱器更換管束，重則腐蝕掉換熱管，使物料串通與水產(chǎn)生爆炸反應(yīng)的嚴(yán)重事故。

多晶硅高溫尾氣熱交換器作為多晶硅生產(chǎn)過程中的主要輔助設(shè)備，對多晶硅的生產(chǎn)起到極其重要的作用，而多晶硅高溫尾氣熱交換器的高溫尾氣防沖件又是保護(hù)該設(shè)備的核心，目前的防沖件普遍存在如下問題：

1、金屬防沖件無法耐高溫腐蝕，壽命短；

2、金屬防沖板無法調(diào)節(jié)氣體的流速，使換熱不充分；

3、氣體無法均勻通過換熱管表面，出口尾氣溫度過高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述不足，提供一種石墨碳的能耐高溫和流速調(diào)節(jié)，以及能使氣體均勻通過換熱管表面的多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：一種多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括圓柱堵頭、螺旋孔排管和固定連接件，圓柱堵頭與螺旋孔排管一端的內(nèi)孔螺紋連接，固定連接件與螺旋孔排管另一端的內(nèi)孔螺紋連接，所述螺旋孔排管是在管壁開設(shè)多排螺旋孔。

本發(fā)明多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)，所述螺旋孔排管采用石墨材質(zhì)。

本發(fā)明的有益效果是：

1、由于不同客戶對高溫尾氣出口溫度要求不同，通過調(diào)整圓柱堵頭和螺旋孔排管的相對位置，可以控制高溫尾氣防沖件有效螺旋孔的數(shù)量，即可控制高溫尾氣進(jìn)氣的流速。以滿足出口溫度的要求。

2、針對原有金屬防沖板易被腐蝕，無法長期使用，采用耐高溫的石墨材質(zhì)，解決了耐高溫耐腐蝕的情況。

3、針對原有金屬防沖板進(jìn)氣無法均勻分布的情況，采用石墨管，在其壁上開設(shè)多排螺旋孔，使氣體均勻分布。

通過上述高溫尾氣防沖件結(jié)構(gòu)調(diào)整，可以最大的保證U型多晶硅高溫尾氣熱交換器的壽命，還能滿足高溫尾氣的不同進(jìn)氣要求，實現(xiàn)高溫尾氣均勻分布換熱，進(jìn)而達(dá)到理想的換熱效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圓柱堵頭示意圖。

圖3為圖2的俯視圖。

圖4為螺旋孔排管示意圖。

圖5為圖4的俯視圖。

圖6為固定連接件示意圖。

圖7為圖6的俯視圖。

圖中：圓柱堵頭1、螺旋孔排管2、固定連接件3、螺旋孔4。

具體實施方式

參見圖1，圖1為本發(fā)明多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)示意圖。由圖1可以看出，本發(fā)明多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)，包括圓柱堵頭1（見圖2和圖3）、螺旋孔排管2（見圖4和圖5）和固定連接件3（見圖6和圖7），圓柱堵頭1與螺旋孔排管2一端的內(nèi)孔螺紋連接，固定連接件3與螺旋孔排管2另一端的內(nèi)孔螺紋連接，所述螺旋孔排管2是在管壁開設(shè)多排螺旋孔。

所述螺旋孔排管2采用石墨材質(zhì)。