[發明專利]一種大規格尺寸藍寶石爐雙加熱器結構

有效

• 申請號: 201210587579.7
• 申請日: 2012-12-28
• 公開（公告）號: CN103046135A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 徐永亮;吳智洪;劉自強
• 申請（專利權）人: 上海昀豐新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B17/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種大規格尺寸藍寶石爐雙加熱器結構，其特征在于，包括：

側面加熱器（1），采用兩個沿軸向通過絕緣件緊固連接的銅環作為電極，分別為第一銅電極（14）和第二銅電極（15），在這兩個銅電極上分別沿周向安裝有多個U型鎢棒（12）形成筒狀結構作為發熱體，且所述U型鎢棒（12）在所述第一銅電極（14）和所述第二銅電極（15）上分別按軸對稱排列方式固定；

底部加熱器（3），采用雙螺旋鎢絲（31）根據熱場需要構建同心發熱環，所述雙螺旋鎢絲（31）通過雙螺旋連接螺絲（38）連接于電極板（34）上，底部通過U型支撐鎢棒（32）支撐。

2.根據權利要求1所述的大規格尺寸藍寶石爐雙加熱器結構，其特征在于，兩個所述銅電極上的所述U型鎢棒（12）相間排布在同一個圓周上。

3.根據權利要求2所述的大規格尺寸藍寶石爐雙加熱器結構，其特征在于，兩個所述銅電極上分別開設有用于安裝所述U型鎢棒（12）的安裝孔，且位于下方的所述第一銅電極（14）的內壁上與所述第二銅電極（15）上的安裝孔相對的位置開設有凹槽，用于供安裝在所述第二銅電極（15）上的所述U型鎢棒（12）通過。

4.根據權利要求3所述的大規格尺寸藍寶石爐雙加熱器結構，其特征在于，兩個所述銅電極通過多個螺栓（17）緊固連接，每個所述螺栓（17）與所述銅電極之間墊設有絕緣墊（16），且兩個所述銅電極之間設置有絕緣塊（13）。

5.根據權利要求4所述的大規格尺寸藍寶石爐雙加熱器結構，其特征在于，每個所述U型鎢棒（12）的頂部固定在所述銅電極的安裝孔上，底部均插入圓形鎢環（11），并通過細的鎢絲捆綁在一起。

6.根據權利要求1所述的大規格尺寸藍寶石爐雙加熱器結構，其特征在于，所述U型支撐鎢棒（32）位于下保溫鉬屏（33）的部分套設有U型支撐鎢棒絕緣套（37）。

7.根據權利要求6所述的大規格尺寸藍寶石爐雙加熱器結構，其特征在于，所述U型支撐鎢棒（32）的底部插入絕緣圈（35），固定在底部支撐固定板（36）上。

8.根據權利要求1所述的大規格尺寸藍寶石爐雙加熱器結構，其特征在于，所述側面加熱器（1）和所述底部加熱器（3）分別連接于不同的電路，能夠在晶體加工的不同階段調整所述側面加熱器（1）以及所述底部加熱器（3）的功率，以滿足晶體不同的階段對熱場的不同要求。