[發(fā)明專利]一種非球形二氧化硅溶膠及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210587490.0
• 申請(qǐng)日: 2012-12-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103896287A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁晨亮;王良詠;劉衛(wèi)麗;宋志棠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海新安納電子科技有限公司;中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
• 主分類(lèi)號(hào): C01B33/14
• 分類(lèi)號(hào): C01B33/14
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 許亦琳;余明偉

1.一種非球形二氧化硅溶膠，包括液體介質(zhì)和溶膠顆粒，所述溶膠顆粒由2~10個(gè)二氧化硅膠體粒子聚集而成。

2.如權(quán)利要求1所述的一種非球形二氧化硅溶膠，其特征在于，所述二氧化硅膠體粒子經(jīng)掃描電鏡觀察粒徑為30-100nm，動(dòng)力學(xué)激光散射測(cè)得的粒徑為30-50nm；液體介質(zhì)是水，pH為8~10。

3.如權(quán)利要求1所述的一種非球形二氧化硅溶膠，其特征在于，所述溶膠顆粒由2~10個(gè)二氧化硅膠體粒子聚集而成，并呈花生狀或梅花狀。

4.如權(quán)利要求1-3任一權(quán)利要求所述的非球形二氧化硅溶膠的制備方法，包括如下步驟：

1）在SiO2的活性硅酸溶液中，加入水溶性鈣鹽、鎂鹽或者它們的混合物水溶液，混合并震蕩攪拌；

2）在步驟1制得的水溶液中加入堿金屬氫氧化物或有機(jī)堿的水溶性溶液進(jìn)行混合，使溶液pH為8.5-10.5；

3）將步驟2所得溶液加熱攪拌，制成起始硅溶膠；

4）將步驟3所得溶膠通過(guò)陽(yáng)離子交換床和陰離子交換床，制成堿性硅溶膠；

5）將苯乙烯單體溶于醇中，攪拌均勻，與步驟4所得的溶膠混合，并加入過(guò)氧化苯甲酰，使得苯乙烯單體體積與溶膠體積比為0.1-1:1000，過(guò)氧化苯甲酰質(zhì)量為0.1-1g；

6）將步驟5所得混合溶液持續(xù)攪拌直至苯乙烯完全聚合；

7）將步驟6所得溶膠中加入活性硅酸，制得二氧化硅含量為25~35%的非球形二氧化硅溶膠。

5.如權(quán)利要求1-3任一權(quán)利要求所述的非球形二氧化硅溶膠在CMP拋光領(lǐng)域的應(yīng)用。