[發明專利]串行同步控制系統有效
| 申請號： | 201210587448.9 | 申請日： | 2012-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN103901832A | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發明（設計）人： | 方欣 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G05B19/418 | 分類號： | G05B19/418;G05D3/12;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 串行 同步 控制系統 | ||
1.一種串行同步控制系統，其特征在于，包括位置測量系統、位置測量機箱、運動控制系統、運動控制機箱以及串行同步控制總線，其中，所述位置測量系統集成安裝在所述位置測量機箱內，所述運動控制系統安裝在所述運動控制機箱內；
所述位置測量系統包括同步數據傳輸總線、位置測量卡、同步總線控制卡以及第一數據通信卡，其中，所述位置測量卡、同步總線控制卡以及第一數據通信卡之間通過所述同步數據傳輸總線相連，所述同步總線控制卡與所述串行同步控制總線相連；
所述運動控制系統包括運動數據傳輸總線、運動控制卡、運動總線控制卡以及第二數據通信卡，其中，所述運動控制卡、運動總線控制卡以及第二數據通信卡通過所述運動數據傳輸總線相連，所述運動總線控制卡與所述串行同步控制總線相連；
所述第一數據通信卡通過一高速串行數據傳輸線與所述第二數據通信卡相連。
2.如權利要求1所述的串行同步控制系統，其特征在于，所述第一數據通信卡包括第一掩膜臺數據通信卡和第一工件臺數據通信卡，所述第二數據通信卡包括第二掩膜臺數據通信卡和第二工件臺數據通信卡；其中，所述第一掩膜臺數據通信卡與第二掩膜臺數據通信卡、第一工件臺數據通信卡與第二工件臺數據通信卡之間均通過所述高速串行數據傳輸線相連。
3.如權利要求1所述的串行同步控制系統，其特征在于，所述串行同步控制總線包括同步時鐘線、同步狀態線和同步信息線，其中，所述同步時鐘線和同步信息線由所述同步總線控制卡驅動，所述同步狀態線由所述運動總線控制卡驅動。
4.如權利要求3所述的串行同步控制系統，其特征在于，所述同步時鐘線、同步狀態線和同步信息線均采用串行差分方式傳輸。
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