[發明專利]可動刀口裝置

有效

• 申請號: 201210587402.7
• 申請日: 2012-12-28
• 公開（公告）號: CN103901731A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 方潔;李志龍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種可動刀口裝置，應用于光刻工藝，所述可動刀口裝置包括上部Y向刀片、下部Y向刀片、左側X向刀片和右側X向刀片，所述四片刀片組合形成狹縫窗口，外部照明光束通過所述狹縫窗口將掩膜版圖形投影曝光到硅片上，其特征在于，還包括框架和四個直線電機，所述四片刀片與四個直線電機均安裝于所述框架內，所述左側X向刀片與右側X向刀片呈X向排列，所述上部Y向刀片與下部Y向刀片呈Y向排列，所述左側X向刀片和右側X向刀片均位于X向運動層內，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片均位于Y向運動層內，所述四片刀片分別通過所述四個直線電機獨立驅動，所述左側X向刀片和右側X向刀片分別通過其對應直線電機的驅動在所述框架內沿X向運動，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片分別通過其對應直線電機的驅動在所述框架內沿Y向運動。

2.根據權利要求1所述可動刀口裝置，其特征在于，還包括Y向刀片機械互限位裝置，所述Y向刀片機械互限位裝置設置于所述框架內，所述Y向刀片機械互限位裝置位于所述Y向運動層內，所述Y向刀片機械互限位裝置位于所述上部Y向刀片和下部Y向刀片之間。

3.根據權利要求2所述可動刀口裝置，其特征在于，還包括Y向刀片電氣互限位傳感器，所述Y向刀片電氣互限位傳感器設置于所述Y向刀片機械互限位裝置上，所述Y向刀片電氣互限位傳感器用于限制上部Y向刀片與下部Y向刀片之間的距離。

4.根據權利要求3所述可動刀口裝置，其特征在于，還包括X向刀片電氣互限位傳感器，所述X向刀片電氣互限位傳感器設置于所述框架內，所述X向刀片電氣互限位傳感器位于所述X向運動層內，所述X向刀片電氣互限位傳感器用于限制左側X向刀片與右側X向刀片之間的距離。

5.根據權利要求1至4任一項所述可動刀口裝置，其特征在于，所述框架的材料為鑄鐵或不銹鋼材質。

6.根據權利要求1至4任一項所述可動刀口裝置，其特征在于，還包括X向刀片組件，所述X向刀片組件設置于所述框架內，所述X向刀片組件包括X向驅動側轉接件和X向輔助側轉接件，所述X向驅動側轉接件與所述X向輔助側轉接件通過雙側連接件連接，所述直線電機與所述X向驅動側轉接件連接，所述直線電機驅動所述X向驅動側轉接件帶動所述X向刀片組件在所述框架內沿X向運動，所述X向驅動側轉接件與X向輔助側轉接件上均設有Z向夾持件、左側X向夾持件和右側X向夾持件，所述Z向夾持件、左側X向夾持件和右側X向夾持件夾持住所述左側X向刀片或右側X向刀片，使其固定于X向刀片組件上。

7.根據權利要求6所述可動刀口裝置，其特征在于，所述X向刀片組件還包括X向光柵尺讀頭，所述X向光柵尺讀頭設置于所述X向驅動側轉接件上，其對應的X向光柵尺設置于所述框架上，所述X向光柵尺讀頭通過讀取所述X向光柵尺的刻度來控制所述X向刀片組件的X向位移。

8.根據權利要求6所述的可動刀口裝置，其特征在于，所述X向刀片組件還包括X向傳感器探測片，所述X向傳感器探測片設置于所述X向驅動側轉接件上，其對應的X向傳感器設置于所述框架上，所述X向傳感器探測片通過所述X向傳感器限制所述左側X向刀片或所述右側X向刀片的最大位移量。

9.根據權利要求6所述的可動刀口裝置，其特征在于，所述X向刀片組件還包括冷卻裝置，所述冷卻裝置包括冷卻液通道、冷卻液進水接頭、冷卻液出水接頭和通道連接件，所述冷卻液通道分別設置于所述X向驅動側轉接件與X向輔助側轉接件內，所述通道連接件連通所述X向驅動側轉接件與X向輔助側轉接件內的冷卻液通道，所述冷卻液進水接頭與冷卻液出水接頭分別設置于所述X向驅動側轉接件與X向輔助側轉接件上，且分別與所述X向驅動側轉接件與X向輔助側轉接件內的冷卻液通道連接。

10.根據權利要求6所述的可動刀口裝置，其特征在于，所述X向刀片組件還包括軸承調節裝置，所述軸承調節裝置包括軸承，所述軸承設置于所述X向輔助側轉接件上，所述框架上設有與所述軸承對應的滑道，使所述軸承能夠沿所述滑道運動。