[發明專利]研磨用組合物以及使用其的研磨方法有效
| 申請號： | 201210587010.0 | 申請日： | 2009-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN103131330A | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發明（設計）人： | 水野敬廣;井澤由裕;赤塚朝彥 | 申請（專利權）人： | 福吉米株式會社 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蔡曉菡;孟慧嵐 |
| 地址： | 日本愛知*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 組合 以及 使用 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種研磨用組合物，其含有含氮化合物和磨粒，所述磨粒為二氧化硅，pH為1～7，上述含氮化合物具有通式：R1-N(-R2)-C(=O)-R4所示的結構，式中，R1、R2、R4分別表示烷基或者在烷基上附加特性基團得到的基團，R1或R2可以與R4一起構成雜環的一部分。
2.根據權利要求1所述的研磨用組合物，其中上述含氮化合物為1-甲基-2-吡咯烷酮、1-乙基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺或N,N-二乙基乙酰胺。
3.?根據權利要求1或2所述的研磨用組合物，其不含氧化劑。
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