[發(fā)明專利]一種用于折反射式投影物鏡的熱效應(yīng)控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210581990.3
• 申請日: 2012-12-28
• 公開（公告）號: CN103901623A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱立榮
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09;G02B27/00;G02B17/08;G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種用于折反射式投影物鏡的熱效應(yīng)控制裝置，所述熱效應(yīng)控制裝置包括熱效應(yīng)校正光束產(chǎn)生裝置、反射鏡和擋光片，熱效應(yīng)校正光束產(chǎn)生裝置出射的校正光束的數(shù)值孔徑與投影物鏡物方數(shù)值孔徑一致，校正光束入射至投影物鏡的前組的第一個鏡片，在該鏡片上，校正光束的位置、形狀與經(jīng)過掩模的有效成像光束的位置、形狀關(guān)于X軸對稱分布，且互不交疊，使所述鏡片上的光能量呈對稱分布，所述鏡片表面由于熱效應(yīng)產(chǎn)生的形變也呈對稱分布狀態(tài)，所述校正光束由擋光片阻擋，而不入射至投影物鏡的反射鏡組上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述熱效應(yīng)校正光束產(chǎn)生裝置包括光源單元、勻光單元、中繼單元。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述光源單元包括光源和聚光鏡組，所述光源包括發(fā)光單元和燈室。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述發(fā)光單元為汞燈、氙燈或鹵鎢燈，所述燈室為橢球面反射鏡。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述橢球面反射鏡的端部為一平面反射鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求3-5之一所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述聚光鏡組為正光焦度鏡組，包括一衰減片。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述勻光單元為石英棒。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，光束經(jīng)所述聚光單元聚光后的匯聚點與石英棒的入射端面之間的距離小于8mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求2或8之一所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述勻光單元為入射端面結(jié)合有微透鏡陣列的石英棒。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，光束經(jīng)所述聚光單元聚光后的匯聚點與微透鏡陣列的入射面之間的距離小于5mm。

11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述光源單元包括可調(diào)激光光源和擴束單元，所述擴束單元對激光光源發(fā)出的激光光束進行擴束準(zhǔn)直。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述勻光單元包括微透鏡陣列。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述反射鏡為矩形鏡片。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述擋光片設(shè)置在所述投影物鏡的前組透鏡組和反射鏡組之間。

15.根據(jù)權(quán)利要求1或14之一所述的熱效應(yīng)控制裝置，其中，所述擋光片用于吸收校正光束，避免產(chǎn)生雜散光。