[發明專利]MEMS加速度傳感器的多參數批量測試設備

有效

• 申請號: 201210581740.X
• 申請日: 2012-12-28
• 公開（公告）號: CN103063879A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 劉俊;石云波;丑修建;郭濤;薛彥輝
• 申請（專利權）人: 蘇州中盛納米科技有限公司
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00
• 代理公司: 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100
• 代理人: 朱源

技術領域

本發明涉及MEMS加速度傳感器的標定校準技術，具體是一種MEMS加速度傳感器的多參數批量測試設備。

背景技術

MEMS加速度傳感器廣泛應用于汽車工業、工業過程控制、醫用保健、消費類電子、環保等領域。MEMS加速度傳感器在研制后及使用前均需要通過各種試驗進行性能參數的標定校準。根據不同的標定校準要求，MEMS加速度傳感器需要進行力學試驗、環境試驗、長時間穩定性和重復性試驗等。其中，力學試驗又分為靜力學試驗和動力學試驗。靜力學試驗包括重力場翻轉試驗、離心試驗等。動力學試驗包括動態試驗、振動試驗等。環境試驗包括溫度性能試驗、電磁兼容試驗等。在現有技術條件下，用于進行MEMS加速度傳感器的性能參數的標定校準的設備主要有分度頭（用于重力場翻轉試驗）、離心機（用于離心試驗）、振動臺（用于振動試驗）、溫度試驗箱（用于溫度性能試驗）等。實踐表明，上述標定校準設備由于自身結構所限，存在如下問題：一、在進行標定校準時，上述各種標定校準設備只能單獨使用，因此MEMS加速度傳感器的靜力學試驗、動力學試驗、溫度性能試驗只能分開進行。這便導致標定校準耗時長、標定校準效率低。通常情況下，完成單個MEMS加速度傳感器的靜力學試驗需要耗時0.5個小時左右，完成動力學試驗需要耗時0.5個小時左右，加上傳感器的手工裝卡時間和數據處理時間，完成單個MEMS加速度傳感器的力學試驗至少需要耗時1.5個小時/人。完成單個MEMS加速度傳感器的溫度性能試驗則需要耗時更長。二、在進行標定校準時，上述各種標定校準設備只能在常溫下使用，而MEMS加速度傳感器的實際使用環境卻是復雜多變的，因此上述各種標定校準設備的標定校準能力有限，其通常無法發現MEMS加速度傳感器在實際使用中的各種隱患，從而增大了MEMS加速度傳感器的使用成本。三、在進行標定校準時，上述各種標定校準設備只能進行單件手動標定校準，因此在對批量MEMS加速度傳感器進行標定校準時，上述各種標定校準設備只能抽樣進行標定校準。這便導致無法得到MEMS加速度傳感器的真實性能參數，并導致標定校準效率低、標定校準成本高。綜上所述，現有標定校準設備存在標定校準耗時長、標定校準效率低、標定校準能力有限、以及無法實現批量化自動標定校準的問題。基于此，有必要發明一種全新的標定校準設備，以解決現有標定校準設備存在的上述問題。

發明內容

本發明為了解決現有標定校準設備存在標定校準耗時長、標定校準效率低、標定校準能力有限、以及無法實現批量化自動標定校準的問題，提供了一種MEMS加速度傳感器的多參數批量測試設備。

本發明是采用如下技術方案實現的：MEMS加速度傳感器的多參數批量測試設備，包括可變環境裝置、批量化標定測試平臺、自動裝卡平臺、多通道數據采集系統、可變環境控制系統、裝卡控制系統、以及主控制系統；批量化標定測試平臺、自動裝卡平臺、可變環境控制系統均安裝于可變環境裝置內；多通道數據采集系統的信號輸出端與主控制系統的信號輸入端連接；可變環境裝置的信號傳輸端通過可變環境控制系統與主控制系統的信號傳輸端連接；自動裝卡平臺的信號傳輸端通過裝卡控制系統與主控制系統的信號傳輸端連接；自動裝卡平臺與批量化標定測試平臺配合連接。