[發(fā)明專(zhuān)利]檢查裝置及檢查方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210579419.8
• 申請(qǐng)日: 2012-12-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103185727A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林義典;井筒紀(jì);若葉博之;小野洋子;關(guān)勝利;權(quán)藤隆德;瀧澤明彥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/88
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/88
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;龔曉娟

1.一種檢查裝置，其具有：照明裝置，其對(duì)被檢查體進(jìn)行照明；攝影單元，其對(duì)被該照明裝置照明的所述被檢查體進(jìn)行拍攝并輸出圖像信號(hào)；以及處理單元，其根據(jù)來(lái)自該攝影單元的圖像信號(hào)，生成表示所述被檢查體的圖像的圖像數(shù)據(jù)，針對(duì)由該圖像數(shù)據(jù)表示的所述被檢查體的圖像進(jìn)行檢查處理，

所述處理單元具有確定在所述檢查處理中使用的處理信息的處理信息確定單元，該處理信息隨著在所述照明裝置的設(shè)定光量從初始光量切換為目標(biāo)光量時(shí)的、來(lái)自所述照明裝置的照明光量從所述初始光量到所述目標(biāo)光量的時(shí)間性變化而變化，

所述處理單元使用由所述處理信息確定單元根據(jù)所述照明裝置的設(shè)定光量從所述初始光量切換為所述目標(biāo)光量時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間確定的處理信息進(jìn)行所述檢查處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述處理單元根據(jù)作為所述處理信息的圖像檢查基準(zhǔn)，針對(duì)由所述圖像數(shù)據(jù)表示的所述被檢查體的圖像進(jìn)行檢查處理，

所述處理信息確定單元確定隨著來(lái)自所述照明裝置的照明光量從所述初始光量到所述目標(biāo)光量的時(shí)間性變化而變化的所述圖像檢查基準(zhǔn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述處理信息確定單元具有確定隨著來(lái)自所述照明裝置的照明光量從所述初始光量到所述目標(biāo)光量的時(shí)間性變化而變化的所述圖像數(shù)據(jù)的校正系數(shù)的單元，

所述處理信息確定單元使用所述校正系數(shù)確定在所述檢查處理中使用的圖像數(shù)據(jù)，其中，該圖像數(shù)據(jù)隨著來(lái)自所述照明裝置的照明光量從所述初始光量到所述目標(biāo)光量的時(shí)間性變化而變化。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述處理信息確定單元具有確定來(lái)自所述攝影單元的所述圖像信號(hào)的增益信息的單元，其中，該增益信息隨著來(lái)自所述照明裝置的照明光量從所述初始光量到所述目標(biāo)光量的時(shí)間性變化而變化，

所述處理信息確定單元使用所述增益信息調(diào)整在所述檢查處理中使用的圖像信號(hào)的電平，其中，該圖像信號(hào)的電平隨著來(lái)自所述照明裝置的照明光量從所述初始光量到所述目標(biāo)光量的時(shí)間性變化而變化。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述處理單元將陰影校正信息用作所述處理信息來(lái)生成所述圖像數(shù)據(jù)，并針對(duì)由該生成的圖像數(shù)據(jù)表示的所述被檢查體的圖像進(jìn)行檢查處理，其中，所述陰影校正信息用于校正所述照明裝置的位置性照明不均及/或所述攝影單元針對(duì)入射光的位置性靈敏度不均，

所述處理信息確定單元確定隨著來(lái)自所述照明裝置的照明光量從所述初始光量到所述目標(biāo)光量的時(shí)間性變化而變化的所述陰影校正信息。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任意一項(xiàng)所述的檢查裝置，其中，

所述處理信息確定單元具有：存儲(chǔ)單元，其存儲(chǔ)用于得到與所述照明裝置的設(shè)定光量從所述初始光量切換為所述目標(biāo)光量時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間中的多個(gè)時(shí)間段分別對(duì)應(yīng)的處理信息的信息；以及根據(jù)存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)單元中的信息，取得與所述照明裝置的設(shè)定光量從所述初始光量切換為所述目標(biāo)光量時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間對(duì)應(yīng)的處理信息的單元。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任意一項(xiàng)所述的檢查裝置，其中，

所述處理信息確定單元具有根據(jù)與所述照明裝置的設(shè)定光量從所述初始光量切換為所述目標(biāo)光量時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間對(duì)應(yīng)的處理信息的變化特性，生成與所述照明裝置的設(shè)定光量從所述初始光量切換為所述目標(biāo)光量時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間對(duì)應(yīng)的處理信息的單元，其中，所述處理信息的變化特性是根據(jù)與所述照明裝置的設(shè)定光量從所述初始光量切換為所述目標(biāo)光量時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間中的多個(gè)時(shí)刻分別對(duì)應(yīng)的處理信息而得到的。

8.一種檢查方法，進(jìn)行針對(duì)由圖像數(shù)據(jù)表示的被檢查體的圖像的檢查處理，該圖像數(shù)據(jù)是由攝影單元拍攝被照明裝置進(jìn)行照明的所述被檢查體而得到的，該檢查方法包括：

處理信息確定步驟，確定在所述檢查處理中使用的處理信息，該處理信息隨著在所述照明裝置的設(shè)定光量從初始光量切換為目標(biāo)光量時(shí)的、來(lái)自所述照明裝置的照明光量從所述初始光量到所述目標(biāo)光量的時(shí)間性變化而變化；以及

檢查處理執(zhí)行步驟，利用在所述處理信息確定步驟中根據(jù)所述照明裝置的設(shè)定光量從所述初始光量切換為所述目標(biāo)光量時(shí)起的經(jīng)過(guò)時(shí)間而確定的處理信息，進(jìn)行所述檢查處理。