[發明專利]一種深紫外鋁光柵偏振器有效
| 申請號： | 201210578546.6 | 申請日： | 2012-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN103018815A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 董建杰;康果果 | 申請（專利權）人： | 北京理工大學 |
| 主分類號： | G02B5/30 | 分類號： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京理工大學專利中心 11120 | 代理人： | 高燕燕;郭德忠 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 深紫 光柵 偏振 | ||
【權利要求書】：
1.一種深紫外鋁光柵偏振器，其特征在于，包括鋁光柵和基底介質，基底介質的材料是SiO2，基底介質緊密的包裹鋁光柵。
2.如權利要求1所述的深紫外鋁光柵偏振器，其特征在于所述鋁光柵的周期為50nm-100nm，厚度為50nm-200nm，光柵柵線寬度與光柵周期的比值為0.3-0.7。
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