[發(fā)明專利]帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法及其設備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210578016.1
• 申請日: 2012-12-27
• 公開（公告）號: CN103063381A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設計）人: 蘇莉芳;張中飛
• 申請（專利權(quán)）人: 太原航空儀表有限公司
• 主分類號: G01M3/32
• 分類號: G01M3/32
• 代理公司: 太原晉科知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(特殊普通合伙) 14110
• 代理人: 任林芳

1.一種帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法，其特征在于具體步驟如下：

1）、對需檢測的產(chǎn)品進行輸出信號測量；

2）、將多只產(chǎn)品裝入加壓容器內(nèi)，密封加壓容器，加壓容器預留管路和壓力儀表、壓力開關、氦氣來源及真空泵連接；

3）、利用壓力開關以及真空泵先將加壓容器內(nèi)的空氣抽空，加壓容器內(nèi)壓力低于50hPa；

4）、切斷真空泵管路，連接氦氣來源管路，將氦氣充入加壓容器內(nèi)，壓力保持在產(chǎn)品的測量上限至1.2倍的測量上限范圍內(nèi)；

5）、壓力保持100-360小時；

6）、排空加壓容器內(nèi)的氦氣，并多次充入空氣并排空，使產(chǎn)品內(nèi)部無氦氣殘留；

7）、在與步驟1）測量條件相同的條件下測量產(chǎn)品的輸出信號；

8）、將加壓前后的輸出信號進行對比，差值趨于0，則真空腔不漏氣，否則為真空腔漏氣，通過計算確定真空腔的泄漏率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法，其特征在于所述的氦氣來源可以置換為空氣來源，其步驟4）的壓力保持240-480小時。

3.一種實現(xiàn)如權(quán)利要求1或2所述的帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法的檢漏設備，其特征在于包括可放置若干待測產(chǎn)品的加壓容器，加壓容器上設置管路與氦氣來源或空氣來源、壓力儀表、壓力開關以及真空泵連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的帶真空參考腔的傳感器真空腔檢漏方法的檢漏設備，其特征在于壓力開關為三通開關，三通開關的中間輸出端連接加壓容器和壓力儀表，三通開關的另外兩端分別連接真空泵以及氦氣來源或空氣來源。