[發明專利]帶電粒子束系統中的漂移控制

有效

• 申請號: 201210577853.2
• 申請日: 2012-12-27
• 公開（公告）號: CN103187223B
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: C.M.斯米特;J.A.M.范登厄特拉
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張懿;王忠忠

1.一種用于減少帶電粒子束系統中的漂移的方法，所述帶電粒子束系統包括帶電粒子源、用于容納樣品的樣品室以及用于將帶電粒子束聚焦到樣品上的透鏡系統，所述帶電粒子束系統包括在所述透鏡系統與所述樣品室之間的溫控裝置，所述方法包括將所述溫控裝置與所述樣品室絕熱并控制所述溫控裝置的溫度以減少或者消除布置在所述樣品室內的樣品的位置相對于所述帶電粒子束的位置的熱漂移，其中將所述溫控裝置與所述樣品室絕熱還包括將絕熱空氣層布置在所述樣品室與所述溫控裝置之間。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，控制所述溫控裝置的溫度還包括使所述溫控裝置維持在基本上恒定的溫度。

3.根據權利要求1或權利要求2所述的方法，其中，控制所述溫控裝置的溫度還包括使所述溫控裝置維持在所述樣品室的溫度的5攝氏度以內的溫度。

4.根據權利要求1或2所述的方法，其中，控制所述溫控裝置的溫度還包括使所述溫控裝置維持在與所述樣品室的溫度基本上相同的溫度。

5.根據權利要求2所述的方法，其中，使所述溫控裝置維持在基本上恒定的溫度包括使所述溫控裝置維持在17攝氏度與25攝氏度之間。

6.根據權利要求1或2所述的方法，其中，所述帶電粒子束的漂移不超過每分鐘0.5納米。

7.根據權利要求1或2所述的方法，其中，所述帶電粒子束的漂移不超過每分鐘0.1納米。

8.根據權利要求1或2所述的方法，其中，控制所述溫控裝置的溫度還包括將熱從所述溫控裝置導引到散熱裝置。

9.根據權利要求1或2所述的方法，其中，控制所述溫控裝置的溫度還包括將熱從熱源導引到所述溫控裝置。

10.根據權利要求1或2所述的方法，其中布置在所述樣品室與所述溫控裝置之間的所述絕熱空氣層是高R空氣。

11.根據權利要求1或2所述的方法，其中，所述帶電粒子束系統包括電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡或聚焦離子束系統。

12.一種用于減少帶電粒子束系統中的漂移的設備，所述設備包括：

溫控裝置，其被布置在帶電粒子束鏡筒的透鏡系統與所述帶電粒子束鏡筒的樣品室之間；以及

與所述溫控裝置熱連通的溫度控制器，所述溫度控制器包括用于控制所述透鏡系統與所述樣品室之間的熱傳遞以減少或者消除帶電粒子束的熱漂移的裝置，

其中通過布置在所述樣品室與所述溫控裝置之間的絕熱空氣層將所述溫控裝置與所述樣品室絕熱。

13.根據權利要求12所述的設備，其中，所述溫度控制器包括恒溫器和散熱裝置。

14.根據權利要求13所述的設備，其中，所述散熱裝置包括在所述帶電粒子束系統外部并且將熱排出到環境空氣中的散熱器。

15.根據權利要求13所述的設備，其中，所述散熱裝置包括在所述帶電粒子束系統外部的冷卻單元或制冷單元。

16.根據權利要求12至15中任一項所述的設備，其中布置在所述樣品室與所述溫控裝置之間的絕熱空氣層是高R空氣。

17.根據權利要求12至15中任一項所述的設備，其中，所述帶電粒子束系統包括電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡或聚焦離子束系統。